[发明专利]一种光刻通孔热点识别方法

权利要求书

1.一种光刻通孔热点识别方法，其特征在于，包括：

步骤S1.获取版图信息，包括：M0层、M0切断层和用于连接所述M0层的通孔层；所述M0层中的M0用于连接有源区；所述M0切断层中的切断记为M0C；所述通孔层的通孔呈矩形，记为V0；

步骤S2.将V0的四条侧边分别沿着垂直于该侧边的方向朝矩形外移动，直至满足条件则停止移动；所述条件包括触及所述M0C、移动的距离达到预设的第一距离；将移动至触及M0C停止的侧边扫过的矩形区域识别为扩充区；

步骤S3.获取所述V0周围的扩充区数量，并根据V0周围的扩充区数量来识别所述V0是否为光刻通孔热点。

2.根据权利要求1所述的一种光刻通孔热点识别方法，其特征在于，于步骤S2中所述停止移动的条件还包括：触及另一个通孔V0。

3.根据权利要求2所述的一种光刻通孔热点识别方法，其特征在于，四条所述侧边向外移动的距离，包括：沿着M0延伸方向移动的距离和垂直于M0延伸方向移动的距离；且沿着垂直于M0延伸方向移动的距离不大于相邻的两个M0中线之间的距离。

4.根据权利要求1所述的一种光刻通孔热点识别方法，其特征在于，所述步骤S3中，具体为将周围有三个扩充区的V0判断为光刻通孔热点。

5.根据权利要求4所述的一种光刻通孔热点识别方法，其特征在于，所述步骤S3中还包括获取识别到的光刻通孔热点与其相邻的三个M0C之间的距离信息，并评估该光刻通孔热点产生制造缺陷的风险大小。

6.根据权利要求5所述的一种光刻通孔热点识别方法，其特征在于，所述光刻通孔热点与其相邻的三个M0C之间的距离信息包括：在两个不同方向上的第一方向间距和第二方向间距。

7.根据权利要求6所述的一种光刻通孔热点识别方法，其特征在于，获取第一方向间距和第二方向间距的具体过程包括：

将识别到的光刻通孔热点及其接触的扩充区组成的T形图形记为第一目标区；将所述第一目标区扩展成包含其的面积最小的第一矩形；

将第一矩形减去第一目标区之后剩下的矩形各记为第二矩形；并设扩充区中，与所述光刻通孔热点重合的扩充边缘长度为扩充区的宽，与宽相垂直的扩充边缘长度为扩充区的长；

将所述第一目标区的三个扩充区中，与其中两个第二矩形都接触的扩充区记为第一扩充区，剩下的两个扩充区分别记为第二扩充区，所述第一方向间距即第一扩充区的长，所述第二方向间距即第二扩充区的长。

8.根据权利要求7所述的一种光刻通孔热点识别方法，其特征在于，还对识别到的光刻通孔热点进行筛选，筛选步骤包括：

判断第一方向间距是否符合所述第一方向范围，如符合则判定该第一扩充区有效；判断第二方向间距是否符合所述第二方向范围，如符合则判定该第二扩充区有效；当一个光刻通孔热点周围的第一扩充区和第二扩充区都有效时，将所述光刻通孔热点筛选出来。