[发明专利]金属掩膜板及显示面板在审
申请号: | 202110250935.5 | 申请日: | 2021-03-08 |
公开(公告)号: | CN113025957A | 公开(公告)日: | 2021-06-25 |
发明(设计)人: | 李静静;范柳彬;郑小红;杨泽明 | 申请(专利权)人: | 昆山国显光电有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56;H01L27/32 |
代理公司: | 成都极刻智慧知识产权代理事务所(普通合伙) 51310 | 代理人: | 唐维虎 |
地址: | 215000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 金属 掩膜板 显示 面板 | ||
本申请实施例提供一种金属掩膜板及显示面板,通过设置第一掩模区域和分别位于第一掩模区域两侧的第二掩模区域,第一掩模区域包括图形区域,第一掩模区域和第二掩模区域之间通过切割线区分,并将第一应力辅助分散区设置于第二掩模区域内,将第二应力辅助分散区设置于图形区域与切割线之间,从而可以将夹爪原本传递至图形区域的不均匀力吸收并分散到第二应力辅助分散区,提高了图形区域的受力均匀性和张网精度,降低金属掩膜板在RGB像素蒸镀过程过程的偏位现象发生概率,进而提升蒸镀良率。
技术领域
本申请涉及显示面板蒸镀工艺技术领域,具体而言,涉及一种金属掩膜板及显示面板。
背景技术
OLED(Organic Light Emitting Display)有机发光显示器具有轻薄、自发光、低功耗、高对比度及柔性可折叠等优良性能,目前在手机、平板等领域应用广泛,与LCD(Liquid Crystal Display)显示形成了强有力的竞争。
OLED发光层通过蒸镀工艺使用精细金属掩膜板(FMM,Fine Metal Mask)实现RGB像素的精确制备,然而本申请发明人研究发现,目前RGB像素位置蒸镀的精确性不高,RGB像素蒸镀过程中的偏位现象发生概率较大,导致蒸镀良率无法满足实际工艺需求。
发明内容
基于现有设计的不足,本申请提供一种金属掩膜板及显示面板,可以提高图形区域的受力均匀性和张网精度,降低金属掩膜板在RGB像素蒸镀过程过程的偏位现象发生概率,进而提升蒸镀良率。
根据本申请的第一方面,提供一种金属掩膜板,所述金属掩膜板包括:
第一掩模区域,所述第一掩模区域包括图形区域;
分别位于所述第一掩模区域的延伸方向两侧的第二掩模区域,其中,所述第一掩模区域和所述第二掩模区域之间通过切割线区分;
第一应力辅助分散区,所述第一应力辅助分散区位于所述第二掩模区域内;
第二应力辅助分散区,所述第二应力辅助分散区位于所述图形区域与所述切割线之间。
在第一方面的一种可能的实施方式中,所述第一应力辅助分散区平行于所述切割线方向上的宽度与所述金属掩膜板平行于所述切割线方向上的宽度的比值范围为85%~99%。
在第一方面的一种可能的实施方式中,所述第二应力辅助分散区平行于所述切割线方向上的宽度与所述金属掩膜板平行于所述切割线方向上的宽度的比值范围为90%~99%。
在第一方面的一种可能的实施方式中,所述第二应力辅助分散区平行于所述切割线方向上的宽度大于所述图形区域平行于所述切割线方向上的宽度。
在第一方面的一种可能的实施方式中,所述第二应力辅助分散区垂直于所述切割线方向上的宽度为6~10um。
在第一方面的一种可能的实施方式中,所述图形区域平行于所述切割线方向上的宽度与所述金属掩膜板平行于所述切割线方向上的宽度的比值范围为89.5%~98.5%。
在第一方面的一种可能的实施方式中,所述第一应力辅助分散区与所述切割线之间距离范围为4~6mm。
在第一方面的一种可能的实施方式中,所述第二应力辅助分散区与所述切割线之间距离范围为8~12mm。
在第一方面的一种可能的实施方式中,所述第二应力辅助分散区与所述图形区域采用相同的刻蚀图案。
根据本申请的第一方面,提供一种显示面板,包括采用第一方面或者第一方面中任意一种可能的实施方式所述的金属掩膜板的图形区域进行像素蒸镀而成的像素单元。
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