[发明专利]一种用于氦离子显微镜成像质量校正的样品及其制作方法

权利要求书

1.一种用于氦离子显微镜成像质量校正的样品，其特征在于，包括衬底、导电层和聚苯乙烯微球颗粒，衬底上覆盖导电层，聚苯乙烯微球颗粒分散固定在导电层上；或者包括块体导电材料和聚苯乙烯微球颗粒，聚苯乙烯微球颗粒分散固定在块体导电材料上。

2.根据权利要求1所述的样品，其特征在于，所述衬底和导电层之间还设置有粘附层，所述粘附层材料为钛、铬或镍，厚度为1～20nm。

3.根据权利要求1所述的样品，其特征在于，所述衬底为硅片、石英片、玻璃片、不锈钢片、铜片、铝片、铝合金片、钼片或钨片。

4.根据权利要求1所述的样品，其特征在于，所述导电层或块体导电材料材质为金、银、铂、铜、铝、铬、钛、碳、钨、钼、不锈钢和铁中的一种或几种。

5.根据权利要求1所述的样品，其特征在于，所述聚苯乙烯微球颗粒直径为10nm～100μm；优选地，所述聚苯乙烯微球颗粒直径为10nm～1μm；更优选地，聚苯乙烯微球颗粒直径为95nm；优选地，所述聚苯乙烯微球颗粒替换为材质为羧基-聚苯乙烯、氨基-聚苯乙烯、大孔交联聚苯乙烯、聚乙烯、聚丙烯酸、聚四氟乙烯、明胶、壳聚糖、聚乳酸、聚丁二烯、聚异戊二烯、聚二甲基硅氧烷、聚甲基丙烯酸甲酯、淀粉、白蛋白、二氧化硅、氧化铝或氧化钛的微球颗粒。

6.制作如权利要求1-5中任一项所述的样品的方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)在表面清洁平整的衬底上镀导电层，或将块体导电材料表面研磨平整并清洗干净；

2)在导电层或者块体导电材料上分散固定聚苯乙烯微球颗粒。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述步骤1)中，还包括在表面清洁平整的衬底上镀导电层之前，对衬底进行清洗步骤，清洗步骤为将衬底浸入丙酮溶液中超声清洗5-10min，接着浸入异丙醇溶液中超声清洗5-10min，取出后用氮气吹干，得到表面清洁平整的衬底。

8.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，步骤1)中，块体导电材料表面的清洗方法为将块体导电材料浸入丙酮溶液中超声清洗5-10min，接着浸入异丙醇溶液中超声清洗5-10min，取出后用氮气吹干。

9.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述步骤1)中在衬底上镀导电层的方法为物理镀膜方法或化学镀膜方法。

10.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述步骤2)中分散固定聚苯乙烯微球颗粒的方法为在导电层或者块体导电材料表面滴涂、旋涂或采用提拉法涂覆含有聚苯乙烯微球颗粒的混悬液。