[发明专利]一种吸盘组件、移载装置和检测设备

权利要求书

1.一种吸盘组件，其特征在于，吸盘组件(3160)包括吸盘底座(3161)、吸盘气缸单元(3162)、转接楔形座(3163)、转接平板(3164)、吸盘安装座(3165)、吸嘴单元(3166)和吸盘载板(3167)，所述吸盘底座(3161)的上表面为斜置面，所述转接楔形座(3163)的下表面也为斜置面且与吸盘底座(3161)的上表面平行设置，转接楔形座(3163)的上表面为平面并与所述转接平板(3164)的底面连接；所述吸嘴单元(3166)与吸盘载板(3167)的上平面平齐且底部可拆卸的设置在所述吸盘安装座(3165)上，两个吸盘安装座(3165)设置在转接平板(3164)的前侧两端；在所述吸盘气缸单元(3162)的驱动下带动转接楔形座(3163)、转接平板(3164)、吸盘安装座(3165)、吸嘴单元(3166)和吸盘载板(3167)斜向升降移动，从而将吸嘴单元(3166)抵靠至待测件的底面进行负压吸附；

所述吸盘载板(3167)的另一端面上涂覆PEEK或橡胶涂层(A)，在所述PEEK或橡胶涂层(A)的上表面、以及吸嘴(31662)处再设置一层透气吸附层(B)，所述透气吸附层由纤维材料形成。

2.根据权利要求1所述的吸盘组件，其特征在于：所述吸盘气缸单元(3162)包括气缸体(31621)、前进端行程调节器(31622)、后退端行程调节器(31623)、和吸盘气缸节流阀(31624)，通过前进端行程调节器(31622)和后退端行程调节器(31623)调节气缸行程，从而调节吸嘴单元(3166)和吸盘载板(3167)上表面的行程。

3.根据权利要求2所述的吸盘组件，其特征在于：所述前进端行程调节器(31622)和后退端行程调节器(31623)上设置液压缓冲器。

4.根据权利要求1所述的吸盘组件，其特征在于：在所述吸盘安装座(3165)上开设L型气道，且在其上表面的气道部为螺纹孔；所述吸盘载板(3167)为带U型槽的n型块，所述U型槽的一端面抵接在所述吸盘安装座(3165)的上表面，并将L型气道的螺纹孔包围，所述吸嘴单元(3166)的下端螺纹连接至所述L型气道的螺纹孔段，实现负压供给。

5.根据权利要求1或4所述的吸盘组件，其特征在于：所述吸嘴单元(3166)包括带通孔的吸嘴安装柱(31661)和吸嘴(31662)，所述吸嘴安装柱(31661)的底端可拆卸的安装于所述吸盘安装座(3165)上，所述吸嘴(31662)可拆卸的安装至所述吸嘴安装柱(31661)上。

6.根据权利要求5所述的吸盘组件，其特征在于：所述吸嘴(31662)采用吸盘。

7.根据权利要求1或4所述的吸盘组件，其特征在于：所述转接平板(3164)采用T型板块，在T型板块的顶板两端分别设置一组吸盘安装座(3165)、吸嘴单元(3166)和吸盘载板(3167)。

8.一种移载装置，其特征在于：所述移载装置(3100)包括两组相对设置的无尘拖链(3110)、电气控制台组(3120)、侧边靠位组件(3130)、预检组件(3140)、端靠位组件(3150)和根据权利要求1-7任一项所述的吸盘组件(3160)；

所述电气控制台组(3120)相邻的设置在所述无尘拖链(3110)的内侧并在无尘拖链(3110)的驱动下往复运动；

所述侧边靠位组件(3130)、预检组件(3140)和吸盘组件(3160)设置在所述电气控制台组(3120)上；其中，所述侧边靠位组件(3130)和预检组件(3140)相邻设置，通过两组相对设置的侧边靠位组件(3130)对待测件进行侧边定位，通过两组预检组件(3140)判定吸盘组件(3160)上是否有待测件并对待测件进行瑕疵预检测；

两组端靠位组件(3150)相对的设置，通过端靠位组件(3150)对待测件进行前后端定位；

四个吸盘组件(3160)位置可调的设置，形成矩形布置以将整张待测件水平支撑，通过负压吸附待测件并随拖链运动输送待测件。

9.一种检测设备，其特征在于：检测设备包括减震台架(2000)、平台模组(3000)、和光学检测装置(4000)，其中所述平台模组(3000)和光学检测装置(4000)设置在所述减震台架(2000)上；所述平台模组(3000)包括权利要求8所述的移载装置(3100)，还包括一个气浮装置(3200)，所述移载装置(3100)跨设在所述气浮装置(3200)上以对待测件进行输送；气浮装置(3200)用于待测件的气浮承载及定位，且平台模组(3000)的浮动平面度为±20μm；所述光学检测装置(4000)设置在所述平台模组(3000)上方，用于待测件的检测；

所述光学检测装置(4000)包括定位相机、主检相机和复检相机，用于待测件的定位、初检和精检。