[发明专利]一种抛光液及其制备方法、应用

说明书

本发明适用于材料技术领域，提供了一种抛光液及其制备方法、应用，该抛光液通过聚乙烯基倍半硅氧烷球形纳米粒子、改性绢母云粉与分散剂按照特定配比进行复配，并配以表面活性剂和pH调节剂，使得该抛光液不仅具有较高的切削率，而且基本不会对树脂镜片表面造成二次划伤，抛光效果好，还提高了抛光液的悬浮稳定性。

技术领域

本发明属于材料技术领域，尤其涉及一种抛光液及其制备方法、应用。

背景技术

化学机械抛光是一种用于通过抛光液的化学和机械作用来平整工件表面的技术，其广泛应用于玻璃、树脂镜片或半导体晶片等的表面平坦化。

现有的用于树脂镜片的抛光液，主要为氧化铝基质的抛光液，虽然氧化铝基质的抛光液具有较高的莫氏硬度(9左右)，对树脂镜片有较好的切削效果，但是由于氧化铝抛光液容易沉淀、聚团，所以其存储稳定性差，且容易对树脂镜片的表面造成二次划伤，抛光效果较差。

因此，亟需研究开发一种稳定性好，且不会对树脂镜片表面造成二次划伤，抛光效果好的抛光液。

发明内容

本发明实施例提供一种抛光液，旨在提供一种稳定性好，且不会对树脂镜片表面造成二次划伤，抛光效果好的抛光液。

本发明实施例是这样实现的，一种抛光液，按重量份数计，包括如下组分：

聚乙烯基倍半硅氧烷球形纳米粒子30-40份、改性绢母云粉11～20份、分散剂0.1～1份、表面活性剂0.2～0.3份、pH调节剂0.5～1份和水55～65份；

所述改性绢母云粉由如下步骤制备得到：

将绢母云原料和微晶无定形二氧化硅按照质量比4:1～2进行混合，再加水湿润后，加入占绢母云原料的质量的10％～25％的硅烷偶联剂，并于10～20Hz转速下进行球磨5～8min，过滤、干燥、超微粉碎即得。

本发明实施例还提供了一种抛光液的制备方法，包括如下步骤：

按如上所述的抛光液配方称取各组分，备用；

将所述聚乙烯基倍半硅氧烷球形纳米粒子分散在配方量1/4的水中，再加入表面活性剂，搅拌混合均匀，再升温至40～60℃，加入改性绢母云粉、分散剂和配方余量的水，剧烈搅拌分散20～30min，然后降温至室温，加入pH调节剂，匀速搅拌3～5min，即得。

本发明实施例还提供了如上所述的抛光液应用于树脂镜片的表面抛光处理。

本发明实施例提供的抛光液，通过聚乙烯基倍半硅氧烷球形纳米粒子、改性绢母云粉与分散剂按照特定配比进行复配，并配以表面活性剂和pH调节剂，使得该抛光液不仅具有较高的切削率，而且基本不会对树脂镜片表面造成二次划伤，抛光效果好，还提高了抛光液的悬浮稳定性。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

本发明实施例提供的抛光液，通过聚乙烯基倍半硅氧烷球形纳米粒子、改性绢母云粉与分散剂按照特定配比进行复配，并配以表面活性剂和pH调节剂，使得该抛光液不仅具有较高的切削率，而且基本不会对树脂镜片表面造成二次划伤，抛光效果好，还提高了抛光液的悬浮稳定性。

本发明实施例提供了一种抛光液，按重量份数计，包括如下组分：聚乙烯基倍半硅氧烷球形纳米粒子30-40份、改性绢母云粉11～20份、分散剂0.1～1份、表面活性剂0.2～0.3份、pH调节剂0.5～1份和水55～65份。

其中，上述改性绢母云粉由如下步骤制备得到：