[发明专利]部件更换方法

权利要求书

1.一种处理系统中的部件更换方法，所述处理系统具有处理基片的处理装置、运送设置在所述处理装置中的消耗部件的部件运送装置以及控制所述处理装置和所述部件运送装置的控制装置，所述部件更换方法的特征在于：

所述控制装置执行以下步骤：

第一推算步骤，推算所述处理装置的消耗部件的更换时期；

确定步骤，将所述更换时期之前的期间中的由所述处理装置进行的所述基片的处理最终结束后的时刻，确定为所述消耗部件的可更换时刻；

第二推算步骤，推算所述部件运送装置移动至需要更换所述消耗部件的所述处理装置的位置所需的第一移动时间；

第三推算步骤，推算进行准备所需的第一准备时间，其中该准备是直到使已移动至需要更换所述消耗部件的所述处理装置的位置的所述部件运送装置成为可更换所述消耗部件的状态为止的准备；

发送步骤，在比所述可更换时刻提早了所述第一移动时间和所述第一准备时间的合计时间的时刻之前的时刻，向所述部件运送装置发送更换指示，来对所述部件运送装置指示所述消耗部件的更换。

2.如权利要求1所述的部件更换方法，其特征在于：

所述部件运送装置包括：

收纳使用前的消耗部件和使用后的消耗部件的部件收纳部；

收纳所述部件收纳部的第一容器，该第一容器具有与所述处理装置连接的开口部和开闭所述开口部的开闭门；

机械臂，其能够将所述使用后的消耗部件从所述处理装置经由所述开口部送出后收纳在所述部件收纳部内，并且能够将所述使用前的消耗部件从所述部件收纳部取出后经由所述开口部送入到所述处理装置内；

具有动力源并且能够使所述部件运送装置移动的移动机构；

与所述控制装置进行无线通信的通信部；和

控制部，

所述控制部执行以下步骤：

在从所述控制装置发出所述更换指示的情况下，控制所述移动机构，开始所述部件运送装置向需要更换所述消耗部件的所述处理装置的位置的移动的步骤；

在移动至需要更换所述消耗部件的所述处理装置的位置后，进行直到成为可更换所述消耗部件的状态为止的准备的准备步骤；

在所述可更换时刻，打开所述开闭门，将所述使用后的消耗部件从所述处理装置经由所述开口部送出后收纳在所述部件收纳部内的收纳步骤；

将所述使用前的消耗部件从所述部件收纳部取出后经由所述开口部送入到所述处理装置内的送入步骤；和

关闭所述开闭门的封闭步骤。

3.如权利要求1所述的部件更换方法，其特征在于：

所述部件运送装置具有控制所述第一容器内的压力的第一压力控制部，

所述处理装置具有对界定所述处理装置内的处理空间的第二容器内的压力进行控制的第二压力控制部，

所述控制装置在所述可更换时刻，控制所述部件运送装置和所述处理装置，以使所述第二容器内的压力比所述第一容器内的压力高。

4.如权利要求3所述的部件更换方法，其特征在于：

所述控制装置控制所述部件运送装置和所述处理装置，以使所述第一容器内的压力与所述第二容器内的压力的压力差成为10Pa以上10⁴Pa以下的范围内的压力差。

5.如权利要求1～4中任一项所述的部件更换方法，其特征在于：

所述控制装置基于RF累计时间、RF累计电功率、方案累计时间、所述消耗部件的重量的变化和所述消耗部件的尺寸的变化中的至少任一者，来推算所述更换时期，其中，所述RF累计时间是使用RF电功率在所述处理装置中进行的处理的累计时间，所述RF累计电功率是使用RF电功率在所述处理装置中进行的处理时间与电功率的乘积值，所述方案累计时间是所述消耗部件的消耗特别多的特定处理方案的累计时间。

6.如权利要求1～5中任一项所述的部件更换方法，其特征在于：

所述消耗部件包括：在第一更换周期中要更换的第一消耗部件；和在比所述第一更换周期长的第二更换周期中要更换的第二消耗部件，

所述控制装置，在所述第一消耗部件的更换时期与所述第二消耗部件的更换时期之间的时间差比所述第一更换周期短的情况下，在基于所述第一消耗部件的更换时期进行的所述更换指示中也一并指示所述第二消耗部件的更换。