[发明专利]转移装置、转移系统和方法

说明书

本发明实施例公开了一种转移装置、转移系统和方法，包括转移基板、激发部和柔性膜，激发部位于转移基板和柔性膜之间，激发部用于在激发源的激发下产生气体，以产生至少在转移基板厚度方向上的推力，使得柔性膜在受到推力的位置发生形变，使得待转移芯片阵列中的待转移芯片与柔性膜的接触面积减小，最终使得待转移芯片阵列与转移装置分离，实现对待转移芯片的大批量转移。柔性膜的设置，可以起到缓冲和均匀应力的作用，使得待转移芯片阵列中的至少部分待转移芯片可以在均匀应力的作用下，分离至目标基板的需要对准的位置，提高了转移精度。柔性膜的设置，还可以避免激发部受激发产生的气体对待转移芯片的腐蚀等损害。

技术领域

本发明实施例涉及显示技术领域，尤其涉及一种转移装置、转移系统和方法。

背景技术

目前，微发光二极体(Micro Light Emitting Diode，Micro LED)由于其高响应速度，高色域，高亮度，长寿命等，被称为未来显示技术；液晶显示器(Liquid CrystalDisplay，LCD)配合毫米发光二极管(Mini Light Emitting Diode，MINI LED)背光技术，量子的技术或者高演色性技术，也是使之相对于有机发光二极管(Organic light-emittingdiode，OLED)保持寿命，亮度优势同时，缩小其在对比度，色域方面的相对劣势的手段。

目前大批量转移以上技术的瓶颈之一，目前采用的技术是机械式的打件，印章式，静电式，流体组装等等。都由于转移效率，良率和精度的问题，难以支撑Micro LED，MINILED技术的大批量生产和普及化。

因此，提供一种装置来实现Micro LED和MINI LED等小尺寸器件的大批量转移成为亟待解决的问题。

发明内容

本发明提供一种转移装置、转移系统和方法，以实现对小尺寸芯片的大批量转移。

第一方面，本发明实施例提供了一种转移装置，包括：转移基板、激发部和柔性膜，激发部位于转移基板和柔性膜之间，激发部用于在激发源的激发下产生气体，以产生至少在转移基板厚度方向上的推力，以使柔性膜的至少部分位置发生形变。

可选的，转移基板上具有多个凹槽；

激发部位于凹槽内，

柔性膜位于转移基板具有凹槽的表面。

可选的，凹槽的截面为矩形、梯形或弧形；优选的，凹槽的截面形状为抛物线形。

可选的，柔性膜为非粘性材料，转移装置还包括第一粘附层和第二粘附层，第一粘附层位于柔性膜与转移基板之间，第二粘附层位于柔性膜远离转移基板的一侧；

或者，柔性膜的材料为粘性材料。

可选的，激发源为电磁波能量源、热源或化学源，其中化学源包括化学物质。

可选的，激发源为电磁波能量源，激发部的至少一侧可透过电磁波能量源发出的设定波长的电磁波，设定波长的电磁波用于激发激发部。

可选的，柔性膜和转移基板中至少一者可透过设定波长的电磁波；

可选的，可透过设定波长的电磁波的结构远离激发部的一侧设置有电磁波能量吸收膜，电磁波能量吸收膜用于至少吸收设定波长的电磁波，其中可透过设定波长的电磁波的结构为柔性膜或转移基板；

可选的，转移基板可透过设定波长的电磁波；

可选的，柔性膜可透过设定波长的电磁波，或者柔性膜不可透过设定波长的电磁波。

可选的，激发部包括主体材料、用于吸收激发源的激发能量的吸收材料。

第二方面，本发明实施例还提供了一种转移系统，包括第一方面提供的转移装置；还包括待转移芯片阵列、目标基板和激发源；