[发明专利]一种拾取晶圆盒中透气材料的装置

权利要求书

1.一种拾取晶圆盒中透气材料的装置，其特征在于，该装置包括伯努利盘(1)、导流盘(2)和气管接头(3)，所述的导流盘(2)固定在伯努利盘(1)下表面中间区域并与伯努利盘(1)之间形成空气流通间隙，所述的空气流通间隙通过气管接头(3)连接连通至气源，所述的导流盘(2)用于将输入至空气流通间隙中的气流向伯努利盘(1)周侧导通分散。

2.根据权利要求1所述的一种拾取晶圆盒中透气材料的装置，其特征在于，所述的伯努利盘(1)和导流盘(2)外轮廓均为圆形。

3.根据权利要求2所述的一种拾取晶圆盒中透气材料的装置，其特征在于，所述的伯努利盘(1)和导流盘(2)中心对中，导流盘(2)直径为伯努利盘(1)直径的1/2～2/3。

4.根据权利要求1所述的一种拾取晶圆盒中透气材料的装置，其特征在于，所述的导流盘(2)上表面与伯努利盘(1)相对设置，所述的导流盘(2)上表面呈环型阶梯状，进而形成环型阶梯状的空气流通间隙，所述的空气流通间隙的高度呈现如下变化方式：从导流盘(2)中心位置向导流盘(2)边缘位置，空气流通间隙的高度由小变大。

5.根据权利要求1所述的一种拾取晶圆盒中透气材料的装置，其特征在于，所述的气管接头(3)固定在伯努利盘(1)上表面上，所述的气管接头(3)穿过所述的伯努利盘(1)与所述的空气流通间隙连通。

6.根据权利要求1所述的一种拾取晶圆盒中透气材料的装置，其特征在于，所述的伯努利盘(1)下表面上还径向设置若干导流槽(4)。

7.根据权利要求6所述的一种拾取晶圆盒中透气材料的装置，其特征在于，所述的导流槽(4)均匀分布。

8.根据权利要求6所述的一种拾取晶圆盒中透气材料的装置，其特征在于，所述的导流槽(4)起始于导流盘(2)边缘、终止于伯努利盘(1)边缘。

9.根据权利要求1所述的一种拾取晶圆盒中透气材料的装置，其特征在于，该装置还包括用于检测与待拾取的透气材料距离的测距传感器，所述的传感器安装在伯努利盘(1)边缘位置，所述的伯努利盘(1)上设有用于安装测距传感器的传感器安装孔(5)。

10.根据权利要求9所述的一种拾取晶圆盒中透气材料的装置，其特征在于，所述的测距传感器包括红外测距传感器。