[发明专利]高(hk1)晶面丰度的硒化锑薄膜、硒化锑薄膜太阳能电池及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202110112201.0 申请日: 2021-01-27
公开(公告)号: CN113013286A 公开(公告)日: 2021-06-22
发明(设计)人: 孟庆岱;魏登科;李颖锐;查钢强;谭婷婷 申请(专利权)人: 西北工业大学深圳研究院;西北工业大学
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L31/0392;H01L31/0336;H01L31/0445;H01L31/072;C23C14/00;C23C14/06;C23C14/08;C23C14/35;C23C14/58
代理公司: 西北工业大学专利中心 61204 代理人: 屠沛
地址: 518057 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: hk1 晶面丰度 硒化锑 薄膜 太阳能电池 及其 制备 方法
【说明书】:

发明提供一种高(hk1)晶面丰度的硒化锑薄膜、硒化锑薄膜太阳能电池及其制备方法,解决现有硒化锑薄膜太阳能电池存在效率较低,稳定性较差的问题。本发明采用无毒缓冲层,制备顶衬结构的FTO/SnO2/Sb2Se3/Au薄膜太阳能电池或ITO/SnO2/Sb2Se3/Au薄膜太阳能电池,并采用热处理工艺,使硒化锑薄膜[221]和[211]择优生长取向增强,提高了(hk1)晶面丰度,促进了载流子的传输效率,使器件效率得到提高。该无毒太阳能电池可大面积制备,且在整个制备过程中无污染,适于工业化生产与应用。

技术领域

本发明属于光电子材料与器件技术领域,具体涉及高(hk1)晶面丰度的硒化锑薄膜、硒化锑薄膜太阳能电池及其制备方法。

背景技术

随着地球人口的持续增长和社会经济的蓬勃发展,能源的需求也日益增加,能源短缺已成为世界关注的一个至关重要的问题。新能源的开发和利用备受关注,在众多新能源中,薄膜太阳能电池以其原材料消耗少、轻便可柔性等特点,一直是能源领域的研究热点,其中铜铟镓硒(CIGS)和碲化镉(CdTe)已成功商业化,但因其原材料In和Ga价格昂贵、Cd具有生物毒性,限制了自身发展,需要继续探索廉价无毒的太阳能电池材料。

硒化锑属于V-VI族无机半导体材料,化学式为Sb2Se3,常压下只有一种正交相,硒和锑元素储量丰富、价格低廉,且硒化锑具有合适的禁带宽度 (~1.17eV)、良好的光电响应、在紫外和可见光区域较大的吸收系数以及较好的化学稳定性,非常适合作为无机薄膜太阳能电池吸光层材料。

目前,已有的硒化锑薄膜太阳能电池择优生长面多为(221)、(230)和 (120),其中,较多的(hk0)晶面使得光生载流子的传输效率下降,进而导致太阳能电池效率较低。同时,现有的硒化锑薄膜太阳能电池主要采用CdS作为缓冲层,Cd的生物毒性以及Cd+在异质结界面的扩散也会导致器件稳定性较差。

发明内容

本发明的目的在于解决现有硒化锑薄膜太阳能电池存在效率较低,稳定性较差的问题,而提供了一种高(hk1)晶面丰度的硒化锑薄膜、硒化锑薄膜太阳能电池及其制备方法。

为实现上述目的,本发明所提供的技术解决方案是:

一种提升硒化锑薄膜(hk1)晶面丰度的方法,其特殊之处在于,对硒化锑薄膜进行原位退火或者硒化退火,使硒化锑薄膜沿[221]和/或[211]方向择优生长。

进一步地,所述原位退火的具体方式是:将采用近空间升华法制备的硒化锑薄膜随炉冷却至室温,在300~400℃下进行原位退火,退火时间为 20~40min;

所述硒化退火的具体方式是:将采用近空间升华法制备的硒化锑薄膜置于硒氛围中,抽真空至1~5Pa,在300~400℃下进行硒化退火,退火时间为 20~40min。

同时,本发明还提供了采用上述方法制备的具有高(hk1)晶面丰度的硒化锑薄膜。

一种具有高(hk1)晶面丰度的硒化锑薄膜太阳能电池,其特殊之处在于,其结构自下而上依次为玻璃基底、透明导电金属氧化物层、N型缓冲层、硒化锑吸光层以及电极层;

其中,硒化锑吸光层采用上述方法制备的具有高(hk1)晶面丰度的硒化锑薄膜;

所述N型缓冲层为SnO2缓冲层。

进一步地,所述透明导电金属氧化物层为ITO(氧化铟锡)或FTO(掺杂氟的SnO2),厚度为150~200nm;

所述SnO2缓冲层的厚度为50~120nm;

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