[发明专利]高(hk1)晶面丰度的硒化锑薄膜、硒化锑薄膜太阳能电池及其制备方法在审
申请号: | 202110112201.0 | 申请日: | 2021-01-27 |
公开(公告)号: | CN113013286A | 公开(公告)日: | 2021-06-22 |
发明(设计)人: | 孟庆岱;魏登科;李颖锐;查钢强;谭婷婷 | 申请(专利权)人: | 西北工业大学深圳研究院;西北工业大学 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/0392;H01L31/0336;H01L31/0445;H01L31/072;C23C14/00;C23C14/06;C23C14/08;C23C14/35;C23C14/58 |
代理公司: | 西北工业大学专利中心 61204 | 代理人: | 屠沛 |
地址: | 518057 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | hk1 晶面丰度 硒化锑 薄膜 太阳能电池 及其 制备 方法 | ||
本发明提供一种高(hk1)晶面丰度的硒化锑薄膜、硒化锑薄膜太阳能电池及其制备方法,解决现有硒化锑薄膜太阳能电池存在效率较低,稳定性较差的问题。本发明采用无毒缓冲层,制备顶衬结构的FTO/SnO2/Sb2Se3/Au薄膜太阳能电池或ITO/SnO2/Sb2Se3/Au薄膜太阳能电池,并采用热处理工艺,使硒化锑薄膜[221]和[211]择优生长取向增强,提高了(hk1)晶面丰度,促进了载流子的传输效率,使器件效率得到提高。该无毒太阳能电池可大面积制备,且在整个制备过程中无污染,适于工业化生产与应用。
技术领域
本发明属于光电子材料与器件技术领域,具体涉及高(hk1)晶面丰度的硒化锑薄膜、硒化锑薄膜太阳能电池及其制备方法。
背景技术
随着地球人口的持续增长和社会经济的蓬勃发展,能源的需求也日益增加,能源短缺已成为世界关注的一个至关重要的问题。新能源的开发和利用备受关注,在众多新能源中,薄膜太阳能电池以其原材料消耗少、轻便可柔性等特点,一直是能源领域的研究热点,其中铜铟镓硒(CIGS)和碲化镉(CdTe)已成功商业化,但因其原材料In和Ga价格昂贵、Cd具有生物毒性,限制了自身发展,需要继续探索廉价无毒的太阳能电池材料。
硒化锑属于V-VI族无机半导体材料,化学式为Sb2Se3,常压下只有一种正交相,硒和锑元素储量丰富、价格低廉,且硒化锑具有合适的禁带宽度 (~1.17eV)、良好的光电响应、在紫外和可见光区域较大的吸收系数以及较好的化学稳定性,非常适合作为无机薄膜太阳能电池吸光层材料。
目前,已有的硒化锑薄膜太阳能电池择优生长面多为(221)、(230)和 (120),其中,较多的(hk0)晶面使得光生载流子的传输效率下降,进而导致太阳能电池效率较低。同时,现有的硒化锑薄膜太阳能电池主要采用CdS作为缓冲层,Cd的生物毒性以及Cd+在异质结界面的扩散也会导致器件稳定性较差。
发明内容
本发明的目的在于解决现有硒化锑薄膜太阳能电池存在效率较低,稳定性较差的问题,而提供了一种高(hk1)晶面丰度的硒化锑薄膜、硒化锑薄膜太阳能电池及其制备方法。
为实现上述目的,本发明所提供的技术解决方案是:
一种提升硒化锑薄膜(hk1)晶面丰度的方法,其特殊之处在于,对硒化锑薄膜进行原位退火或者硒化退火,使硒化锑薄膜沿[221]和/或[211]方向择优生长。
进一步地,所述原位退火的具体方式是:将采用近空间升华法制备的硒化锑薄膜随炉冷却至室温,在300~400℃下进行原位退火,退火时间为 20~40min;
所述硒化退火的具体方式是:将采用近空间升华法制备的硒化锑薄膜置于硒氛围中,抽真空至1~5Pa,在300~400℃下进行硒化退火,退火时间为 20~40min。
同时,本发明还提供了采用上述方法制备的具有高(hk1)晶面丰度的硒化锑薄膜。
一种具有高(hk1)晶面丰度的硒化锑薄膜太阳能电池,其特殊之处在于,其结构自下而上依次为玻璃基底、透明导电金属氧化物层、N型缓冲层、硒化锑吸光层以及电极层;
其中,硒化锑吸光层采用上述方法制备的具有高(hk1)晶面丰度的硒化锑薄膜;
所述N型缓冲层为SnO2缓冲层。
进一步地,所述透明导电金属氧化物层为ITO(氧化铟锡)或FTO(掺杂氟的SnO2),厚度为150~200nm;
所述SnO2缓冲层的厚度为50~120nm;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的