[发明专利]一种检测方法

权利要求书

1.一种检测方法，其特征在于，包括：

提供衬底，所述衬底上依次形成有第一绝缘层、第一栅极层和第一覆盖层，所述第一覆盖层中形成有第一通孔；

所述第一覆盖层的高度根据待测晶圆的预设层的第二栅极层上的第二覆盖层确定；

所述第一覆盖层与所述第二覆盖层具有相同的材料，所述第一栅极层和所述预设层的第二栅极层具有相同的材料，所述第二覆盖层中形成有第二通孔，所述第一通孔和所述第二通孔利用相同刻蚀参数刻蚀得到；

通过所述第一通孔贯穿所述第一栅极层确定所述第二通孔贯穿所述预设层的第二栅极层；

所述通过所述第一通孔贯穿所述第一栅极层确定所述第二通孔贯穿所述第二栅极层包括：

通过所述第一绝缘层的损伤确定所述第一通孔贯穿所述第一栅极层，以确定所述第二通孔贯穿所述第二栅极层。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一绝缘层和所述第一覆盖层为相同的材料；

则所述通过所述第一绝缘层的损伤确定所述第一通孔贯穿所述第一栅极层包括：

对所述第一覆盖层进行湿法腐蚀处理，以去除所述第一覆盖层；

通过所述第一绝缘层的损伤确定所述第一通孔贯穿所述第一栅极层。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述第一覆盖层的材料为氧化硅；

所述对所述第一覆盖层进行湿法腐蚀处理，以去除所述第一覆盖层包括：

利用氢氟酸溶液对所述第一覆盖层进行湿法腐蚀处理，以去除所述第一覆盖层。

4.根据权利要求1-3任意一项所述的方法，其特征在于，所述第一栅极层和所述第二栅极层的材料为金属钨。

5.根据权利要求2或3所述的方法，其特征在于，所述通过所述第一绝缘层的损伤确定所述第一通孔贯穿所述第一栅极层包括：

去除所述第一栅极层；

通过所述第一绝缘层的损伤确定所述第一通孔贯穿所述第一栅极层。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述第一绝缘层和所述第一栅极层之间形成有第一隔离层，所述第一栅极层和所述第一覆盖层之间形成有第二隔离层；

则，所述对所述第一覆盖层进行湿法腐蚀处理，以去除所述第一覆盖层之后，还包括：

去除所述第一栅极层上的所述第二隔离层；

所述去除所述第一栅极层之后，还包括：

去除所述第一绝缘层上的所述第一隔离层。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述第一隔离层和所述第二隔离层的材料为氧化铝。

8.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述第一隔离层和所述第一栅极层之间形成有第一粘合层，所述第二隔离层和所述第一覆盖层之间形成有第二粘合层；

则，所述去除所述第一栅极层上的所述第二隔离层之前，还包括；

去除所述第二隔离层上的所述第二粘合层；

去除所述第一绝缘层上的所述第一隔离层之前，还包括：

去除所述第一绝缘层上的所述第一粘合层。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述第一粘合层和所述第二粘合层的材料为氮化钛。