[发明专利]一种两用双通道树脂滤光片的生产方法在审

专利信息
申请号: 202110073543.6 申请日: 2021-01-20
公开(公告)号: CN112899622A 公开(公告)日: 2021-06-04
发明(设计)人: 增田清志;增田博志;龚裕 申请(专利权)人: 苏州京浜光电科技股份有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;C23C14/02;C23C14/08;C23C14/10;C23C14/50;G02B5/20
代理公司: 苏州圆融专利代理事务所(普通合伙) 32417 代理人: 郭珊珊
地址: 215501 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 两用 双通道 树脂 滤光 生产 方法
【说明书】:

发明公开了一种两用双通道树脂滤光片的生产方法,包括以下步骤:S1:基板材料的选择:选择树脂薄膜材料作为基板;S2:镀膜材料的选择:选择高纯度的石英硅环作为低折射率蒸镀物质,选择结晶态高纯度的氧化钛作为高折射率蒸镀物质;S3:将基板和镀膜材料进行表面惰性气体除静电吹淋;S4:镀膜工装夹具的处理:镀膜工装夹具在装夹镀膜基板前进行高温烘烤和离子除静电处理;S5:真空蒸镀处理:将基板一侧交替蒸镀石英硅环和氧化钛,交替蒸镀的层数为20‑40层,形成双通主膜系;将基板另一侧交替蒸镀石英硅环和氧化钛,交替蒸镀的层数为16‑26层,形成短波通。本发明,比玻璃双通滤光片更薄,柔性材料更容易加工成各种形状,且不易破碎。

技术领域

本发明涉及树脂滤光片生产技术领域,具体是一种两用双通道树脂滤光片的生产方法。

背景技术

两用型双通道滤光片,由光学玻璃基体以及沉积在光学玻璃基体上的滤光膜组成,可阻断混合光源中的紫外线和红外线,有助于数码相机CCD或CMOS不再受紫外线和红外线的信号影响,得到更加鲜明清晰的影像;同时该滤光片还能根据红外灯的不同特性有选择性地通过部分红外光谱,起到增强摄像模组的夜视功能或感光的效果。两用型滤光片能通过可见光420nm-620nm和760-850nm左右的红外光,阻止近红外线950nm-1100nm的红外光,白天可以获得真彩色图像,晚上可以获得清晰的黑白图像。主要用于智能手机等移动终端摄像头、安防监控器摄像头等。目前由于行业内主要是使用玻璃基底,批量生产的厚度为0.21mm,由于玻璃本身的物理特性,中心波长随入射角度变化产生的漂移大成像效果差;摄像模组整体厚度无法再缩减、镜片存在易破裂等安全隐患。随着大众对摄像产品要求的精益求精,现有工艺不能有效解决这个问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种两用双通道树脂滤光片的生产方法,以解决现有技术中的问题。

为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种两用双通道树脂滤光片的生产方法,包括以下步骤:

S1:基板材料的选择:选择树脂薄膜材料作为基板;

S2:镀膜材料的选择:选择高纯度的石英硅环作为低折射率蒸镀物质,选择结晶态高纯度的氧化钛作为高折射率蒸镀物质;

S3:将基板和镀膜材料进行表面惰性气体除静电吹淋;

S4:镀膜工装夹具的处理:镀膜工装夹具在装夹镀膜基板前进行高温烘烤和离子除静电处理;

S5:真空蒸镀处理:将基板一侧交替蒸镀石英硅环和氧化钛,交替蒸镀的层数为20-40层,形成双通主膜系;将基板另一侧交替蒸镀石英硅环和氧化钛,交替蒸镀的层数为16-26层,形成短波通。

优选的,所述步骤S1中基板的厚度小于0.11mm。

优选的,所述步骤S3是将基板以及镀膜材料放入洁净区,再由风机通过吹淋喷嘴喷出经过高效过滤的洁净惰性气体强风吹除基板表面吸附尘埃。

优选的,所述步骤S4中镀膜工装夹具采用对夹式装夹治具。

优选的,所述步骤S5中双通主膜系的厚度为2000-3500nm,所述短波通的总厚度约2000-3000nm。

优选的,所述真空蒸镀采用表面真空IAD辅助蒸镀。

优选的,所述真空蒸镀的温度为120-140℃。

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