[发明专利]一种两用双通道树脂滤光片的生产方法在审
| 申请号： | 202110073543.6 | 申请日： | 2021-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN112899622A | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 增田清志;增田博志;龚裕 | 申请（专利权）人： | 苏州京浜光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/02;C23C14/08;C23C14/10;C23C14/50;G02B5/20 |
| 代理公司： | 苏州圆融专利代理事务所(普通合伙) 32417 | 代理人： | 郭珊珊 |
| 地址： | 215501 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 两用 双通道 树脂 滤光 生产 方法 | ||
1.一种两用双通道树脂滤光片的生产方法，其特征在于：包括以下步骤：
S1：基板材料的选择：选择树脂薄膜材料作为基板；
S2：镀膜材料的选择：选择高纯度的石英硅环作为低折射率蒸镀物质，选择结晶态高纯度的氧化钛作为高折射率蒸镀物质；
S3：将基板和镀膜材料进行表面惰性气体除静电吹淋；
S4：镀膜工装夹具的处理：镀膜工装夹具在装夹镀膜基板前进行高温烘烤和离子除静电处理；
S5：真空蒸镀处理：将基板一侧交替蒸镀石英硅环和氧化钛，交替蒸镀的层数为20-40层，形成双通主膜系；将基板另一侧交替蒸镀石英硅环和氧化钛，交替蒸镀的层数为16-26层，形成短波通。
2.根据权利要求1所述的一种两用双通道树脂滤光片的生产方法，其特征在于：所述步骤S1中基板的厚度小于0.11mm。
3.根据权利要求1所述的一种两用双通道树脂滤光片的生产方法，其特征在于：所述步骤S3是将基板以及镀膜材料放入洁净区，再由风机通过吹淋喷嘴喷出经过高效过滤的洁净惰性气体强风吹除基板表面吸附尘埃。
4.根据权利要求1所述的一种两用双通道树脂滤光片的生产方法，其特征在于：所述步骤S4中镀膜工装夹具采用对夹式装夹治具。
5.根据权利要求1所述的一种两用双通道树脂滤光片的生产方法，其特征在于：所述步骤S5中双通主膜系的厚度为2000-3500nm，所述短波通的总厚度约2000-3000nm。
6.根据权利要求1或5所述的一种两用双通道树脂滤光片的生产方法，其特征在于：所述真空蒸镀采用表面真空IAD辅助蒸镀。
7.根据权利要求6所述的一种两用双通道树脂滤光片的生产方法，其特征在于：所述真空蒸镀的温度为120-140℃。
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