[发明专利]一种抗化学腐蚀的透明导电薄膜及其制备方法

权利要求书

1.一种抗化学腐蚀的透明导电薄膜，包括透明基材(1)、透明电极层(2)和金属导电层(3)，其中，所述透明电极层(2)设置于所述透明基材(1)的表面，所述金属导电层(3)设置于所述透明电极层(2)的表面，所述金属导电层(3)中包含连续线条状或连续网格状图案的金属线(4)，所述金属线(4)的表面设置有耐腐蚀层(5)，所述耐腐蚀层(5)的厚度为1～50nm，所述耐腐蚀层 材料为耐钙钛矿型太阳能电池中的卤族元素腐蚀的材料。

2.根据权利要求1所述的透明导电薄膜，其中，所述透明电极层(2)的厚度为20～200nm，所述金属导电层(3)的厚度为10～200nm。

3.根据权利要求1所述的透明导电薄膜，其中，所述耐腐蚀层 材料选自镍、铬、钛、铋、钼、锆、钨、锰、三氧化二铝、二氧化钛、氟碳树脂、环氧树脂及酯类化合物中的任一种。

4.根据权利要求1所述的透明导电薄膜，其中，所述金属线(4)选自纳米金线、纳米银线和纳米铜线中的任一种，所述金属线(4)的线宽为10～50μm，所述金属线(4)铺设在透明电极层(2)上形成相连的矩形、正六边形或相连接的条纹图案，所述金属线(4)的覆盖面积小于透明电极层(2)表面积的10％。

5.根据权利要求1所述的透明导电薄膜，其中，所述透明基材(1)选自玻璃、PET、PEN和PI中的任一种，所述玻璃透明基材的厚度为0.3～5mm；所述PET、PEN或PI透明基材的厚度为0.025～0.3mm。

6.根据权利要求1所述的透明导电薄膜，其中，所述透明电极层(2)中含有导电氧化物，所述导电氧化物选自ITO或FTO。

7.根据权利要求1所述的透明导电薄膜，其中，所述透明导电薄膜的透光率为80％～90％，方阻为0.1～10Ω/sq。

8.根据权利要求1～7任一项所述的透明导电薄膜，所述透明导电薄膜用于钙钛矿型太阳能电池。

9.一种权利要求1～7任一项所述的透明导电薄膜的制备方法，所述方法包括：

在透明基材表面制备透明电极层：

在透明基材(1)的表面沉积一层导电氧化物，然后退火处理得到透明电极层(2)，其中，退火温度为120～170℃，退火时间为20～40min；

在透明电极层的表面制备金属导电层：

在透明电极层(2)的表面印刷感光胶，在感光胶的表面刻蚀出连续线条状或网格状凹槽，通过PVD法沉积金属层，清除感光胶，得到具有连续线条状图案或连续网格状图案的金属线(4)的金属导电层(3)；

在金属导电层的表面制备耐腐蚀层：

在所述金属导电层(3)中的金属线(4)表面电镀一层金属，或者生成一层金属氧化物，或者印刷一层惰性有机物，形成耐腐蚀层(5)。

10.根据权利要求9所述的透明导电薄膜的制备方法，其中，所述耐腐蚀层的制备方法为：

将金属导电层置于含有镍、铬、钛、铋、钼、锆、钨或锰的电镀液中，以金属导电层作为阴极，通过电镀法将镍、铬、钛、铋、钼、锆、钨或锰镀在金属导电层(3)表面，形成耐腐蚀层(5)，其中，控制电流密度为2～5A/dm²，施镀时间为10～20min；

或者，将金属导电层(3)置于含有铝或钛的电镀液中，以金属导电层(3)作为阴极，通过电镀法将铝或钛电镀在金属导电层(3)表面形成镀层，将镀层置于氧氛围中，以80～120℃氧化8～10h；

或者，将5～10份甲基丙烯酸甲酯，10～15份丙烯酸丁酯，1～2份甲基丙烯酸三氟乙酯，0.5～1份三羟甲基丙烷三丙烯酸酯，0.001～0.0005份光引发剂二苯甲酮加入到76.5～80份的醋酸乙酯中，搅拌至完全溶解，然后加入0.5～1份纳米二氧化钛，转移至超声发生器中分散至纳米二氧化钛分散均匀，制得金属电极保护液；将金属电极保护液通过丝网印刷法印刷到金属导电层(3)的表面，在紫外光下辐射固化5～10min。