[发明专利]一种喹啉基苯并咪唑缓蚀剂及其制备方法

权利要求书

1.一种喹啉基苯并咪唑缓蚀剂，其特征在于，所述喹啉基苯并咪唑缓蚀剂具有式(I)分子结构：

式中，R为H或C1～C12的烷基直链，n为整数。

2.一种喹啉基苯并咪唑缓蚀剂的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)制备喹啉基苯并咪唑(TTBZ-QL)

在二甲苯/N-甲基吡咯烷酮的混合溶剂中，1,2,4,5-四氨基苯与喹啉-4-羧酸在氮气环境下酰化反应，进一步升温进行环化反应，经旋蒸、重结晶、干燥得到TTBZ-QL；

(2)扩链制备ceTTBZ-QL

TTBZ-QL与四亚甲基二胺在有相转移催化剂的碱性溶液中反应，经萃取、干燥得到ceTTBZ-QL；

(3)季铵化反应制备喹啉基苯并咪唑缓蚀剂(TQA)

在甲苯溶剂中，ceTTBZ-QL与卤代烃进行季铵化反应，得到褐色固体，经冲洗、干燥得到TQA。

3.根据权利要求2所述的一种喹啉基苯并咪唑缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述混合溶剂中二甲苯和N-甲基吡咯烷酮的体积比为2:1。

4.根据权利要求2所述的一种喹啉基苯并咪唑缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述1,2,4,5-四氨基苯与喹啉-4-羧酸的投料摩尔比为1:2～2.4。

5.根据权利要求2或4所述的一种喹啉基苯并咪唑缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述1,2,4,5-四氨基苯与喹啉-4-羧酸的投料摩尔比为1:2.2。

6.根据权利要求2所述的一种喹啉基苯并咪唑缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述相转移催化剂四丁基溴化铵。

7.根据权利要求2所述的一种喹啉基苯并咪唑缓蚀剂的制备方法，其特征在于所述碱性溶液为40wt％的氢氧化钠水溶液。

8.根据权利要求2所述的一种喹啉基苯并咪唑缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述卤代烃为碘代烷、溴代烷中的一种或两种。

9.根据权利要求2或8所述的一种喹啉基苯并咪唑缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述卤代烃为碳原子数为4～6的正溴代烷。