[发明专利]利用真空紫外线的除静电装置的开/关控制系统

说明书

根据本发明的利用真空紫外线的除静电装置的开/关控制系统包括：真空腔室，所述真空腔室内部填充惰性气体，在一侧形成有供被带电体进入的入口；传感器模块，所述传感器模块安装于所述真空腔室内部，感测进入感测范围内的被带电体；控制模块，所述控制模块配置于所述真空腔室外部，能够从所述传感器模块接收对被带电体的感测信号以控制除静电装置的开/关，能够调节除静电装置的照射时间；及除静电装置，所述除静电装置配置于所述真空腔室内部，借助于所述控制模块进行开/关控制，向被带电体的上部照射真空紫外线光以中和被带电体的静电。

技术领域

本发明涉及利用真空紫外线的除静电装置的开/关控制系统，更详细地，通过将开/关控制系统应用于原本无独立开/关控制装置的VUV除静电装置，从而通过开/关控制装置调节除静电所需的照射时间以防止VUV导致的有机物固化的系统。

背景技术

最近，随着LCD、OLED显示装置、半导体技术进一步精密化，如沉积工序或真空腔室内工序等在减压真空环境下进行或在处置惰性气体等特殊环境下进行的工序也呈大幅增加趋势，在这种情况下，在不同于大气压环境的上述特殊环境下，X射线辐射式装置因除静电性能低而难以使用，而电晕放电式装置存在高压放电导致的溅射现象、离子平衡调整导致的不便等问题，因而难以应用。

因此，日本的滨松公司提出了一种可利用真空紫外线而在特殊环境下应用的除静电装置(JP 2816037，带电物体的中和装置)。所述技术的特征在于，包括可收纳晶片的壳体、惰性气体导入装置、中和电荷发生装置和减压装置，以便在晶片移送到减压的外壳内之前向预处理外壳内注入惰性气体，利用排气泵进行减压后照射紫外线，从而可以执行除电。所述技术包括了用于在特殊环境下除电的基础性构成，但未公开中和电荷发生装置的详细作用结构等。

因此，特别是正在开发一种连接于真空或惰性气体腔室以照射真空紫外线，从而执行除电功能的利用真空紫外线的除静电装置。

但是，这种以往的利用真空紫外线的除静电装置为灯丝(Filament)型，从而灯丝存在需要预热时间才能释放热电子的问题，这种问题导致无法对普通的利用真空紫外线的除静电装置进行开/关控制，即使可以控制，也需要预热时间(例：25秒±5秒)以上，存在难以进行实时开/关控制的问题，因此存在工序所需时间增加的问题，另外，当使利用真空紫外线的除静电装置连续点亮使用时，由于除静电装置过度运转，存在有机物因真空紫外线而发生固化的问题。

发明内容

技术问题

本发明目的是要解决如上所述问题，提供一种利用真空紫外线的除静电装置的开/关控制系统，通过开/关控制装置应用于封入了惰性气体的密闭型结构的灯，所述灯为在发光工艺上不存在灯丝，借助于外部电极而无需预热时间便可发光的结构，从而可以通过开/关控制装置，最小限度地应用除静电所需的照射时间，防止VUV导致的有机物固化。

本发明的目的不限于以上提及的目的，未提及的其他目的是本发明技术领域的技术人员可以从以下记载明确理解的。

技术方案

为了达成所述目的，本发明的利用真空紫外线的除静电装置的开/关控制系统包括：真空腔室，所述真空腔室内部填充惰性气体，在一侧形成有供被带电体进入的入口；传感器模块，所述传感器模块安装于所述真空腔室内部，感测进入感测范围内的被带电体；控制模块，所述控制模块配置于所述真空腔室外部，能够从所述传感器模块接收对被带电体的感测信号以控制除静电装置的开/关，能够调节除静电装置的照射时间；及除静电装置，所述除静电装置配置于所述真空腔室内部，借助于所述控制模块进行开/关控制，向被带电体的上部照射真空紫外线光以中和被带电体的静电。

另外，其特征在于，所述除静电装置包括VUV灯，通过所述VUV灯来照射真空紫外线(VUV)。

另外，其特征在于，所述VUV灯是内部无灯丝、封入了无需预热时间便能够将气体作为光源进行发光的惰性气体的密闭型结构的灯。