[发明专利]利用真空紫外线的除静电装置的开/关控制系统在审
| 申请号： | 202080099033.X | 申请日： | 2020-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN115399072A | 公开（公告）日： | 2022-11-25 |
| 发明（设计）人： | 李东勋;李炳俊;李寿永;张浩经;林智炯;孙慜晳 | 申请（专利权）人： | 禅才高科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H05F3/00 | 分类号： | H05F3/00;H01J61/12;H01J61/30 |
| 代理公司： | 北京庚致知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11807 | 代理人： | 李伟波 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 利用 真空 紫外线 静电 装置 控制系统 | ||
1.一种利用真空紫外线的除静电装置的开/关控制系统，包括：
真空腔室，所述真空腔室内部填充惰性气体，在一侧形成有供被带电体进入的入口；
传感器模块，所述传感器模块安装于所述真空腔室内部，感测进入感测范围内的被带电体；
控制模块，所述控制模块配置于所述真空腔室外部，能够从所述传感器模块接收对被带电体的感测信号以控制除静电装置的开/关，能够调节除静电装置的照射时间；及
除静电装置，所述除静电装置配置于所述真空腔室内部，借助于所述控制模块进行开/关控制，向被带电体的上部照射真空紫外线光以中和被带电体的静电。
2.根据权利要求1所述的利用真空紫外线的除静电装置的开/关控制系统，其特征在于，
所述除静电装置包括VUV灯，通过所述VUV灯来照射真空紫外线(VUV)。
3.根据权利要求2所述的利用真空紫外线的除静电装置的开/关控制系统，其特征在于，
所述VUV灯是内部无灯丝、封入了无需预热时间便能够将气体作为光源进行发光的惰性气体的密闭型结构的灯。
4.根据权利要求1所述的利用真空紫外线的除静电装置的开/关控制系统，其特征在于，
所述控制模块能够通过一个控制模块对多个除静电装置进行控制，根据被带电体的移动而依次控制所述多个除静电装置的开/关。
5.根据权利要求1所述的利用真空紫外线的除静电装置的开/关控制系统，其特征在于，
所述控制模块能够通过一个控制模块对在多个真空腔室中形成的一个以上除静电装置同时分别进行开/关控制。
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