[发明专利]转印薄膜、层叠体的制造方法

说明书

本发明提供一种覆膜的剥离性优异的转印薄膜及层叠体的制造方法。本发明的转印薄膜依次具有临时支承体、感光性组合物层及覆膜，覆膜从感光性组合物层侧依次具有剥离性树脂层及基材，剥离性树脂层的感光性组合物层侧的表面的表面自由能的氢键成分为4.0mN/m以下。

技术领域

本发明涉及一种转印薄膜及层叠体的制造方法。

背景技术

由于用于获得规定图案的工序数少，因此广泛使用在经由掩模对使用转印薄膜设置于任意的基板上的感光性组合物层进行曝光之后进行显影的方法。

例如，在专利文献1中，公开了一种具有支承体、感光性组合物层及覆膜的转印薄膜，且在感光性组合物层与覆膜之间设置有中间层的方式。另外，中间层包含聚乙烯醇等。

以往技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2007-293006号公报

发明内容

发明要解决的技术课题

另一方面，近年来，要求更进一步提高覆膜的剥离性。更具体而言，当剥离覆膜时，期望能够以使感光性组合物层不附着于覆膜的表面上的方式剥离覆膜。另外，以下将感光性组合物层在从转印薄膜中的感光性组合物层上剥离的覆膜上附着少的情况也称为覆膜的剥离性优异。

本发明人等关于专利文献1中具体记载的转印薄膜进行了研究的结果，发现了感光性组合物层与中间层之间的剥离性不充分，导致被剥离的中间层上附着有感光性组合物层，需要进一步的改善。

本发明的课题在于提供一种覆膜的剥离性优异的转印薄膜。

并且，本发明的课题也在于提供一种使用上述转印薄膜的层叠体的制造方法。

用于解决技术课题的手段

为了解决上述问题，本发明人等进行深入研究的结果，发现了通过以下结构能够解决上述问题。

(1)一种转印薄膜，其依次具有临时支承体、感光性组合物层及覆膜，

覆膜从感光性组合物层侧依次具有剥离性树脂层及基材，

剥离性树脂层的感光性组合物层侧的表面的表面自由能的氢键成分为4.0mN/m以下。

(2)根据(1)所述的转印薄膜，其中，

剥离性树脂层的厚度为10～500nm。

(3)根据(1)或(2)所述的转印薄膜，其中，

剥离性树脂层的感光性组合物层侧的表面的表面粗糙度Ra为50nm以下。

(4)根据(1)至(3)中任一项所述的转印薄膜，其中，

剥离性树脂层包含树脂及表面活性剂。

(5)根据(4)所述的转印薄膜，其中，

树脂包含烯烃系树脂。

(6)根据(1)至(5)中任一项所述的转印薄膜，其中，

基材包含聚酯树脂。

(7)根据(1)至(6)中任一项所述的转印薄膜，其中，

剥离性树脂层的感光性组合物层侧的表面的表面自由能的氢键成分与分散力成分满足后述式(1)的关系。

(8)根据(1)至(7)中任一项所述的转印薄膜，其中，

感光性组合物层包含聚合性化合物、碱溶性树脂及聚合引发剂。

(9)根据(1)至(8)中任一项所述的转印薄膜，其中，