[发明专利]谐振器以及具备该谐振器的谐振装置

权利要求书

1.一种谐振器，其中，具备：

振动部，具有以彼此相反的相位振动的两个部分；

保持部，形成为将所述振动部的至少一部分包围；以及

保持单元，对所述两个部分的边界进行支承，并且将所述振动部与所述保持部连接，

在所述振动部的表面中的、所述保持单元的与所述振动部连接的连接部分和沿着所述两个部分的边界与所述连接部分对置的端部之间的区域设置有频率调整膜。

2.根据权利要求1所述的谐振器，其中，

所述保持单元是对所述两个部分的边界进行夹持的一对保持单元，

所述频率调整膜设置于所述一对保持单元各自的与所述振动部连接的连接部分之间的区域。

3.根据权利要求1或2所述的谐振器，其中，

所述频率调整膜设置于比所述振动部的所述两个部分各自的中心部靠近所述两个部分的边界的区域。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的谐振器，其中，

所述振动部的所述两个部分的排列方向上的所述频率调整膜的宽度相对于所述振动部的宽度为10％以上30％以下的大小。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的谐振器，其中，

所述振动部的所述两个部分的排列方向上的所述频率调整膜的宽度比所述振动部的所述两个部分的排列方向上的所述保持单元的与所述振动部连接的所述连接部分的宽度小。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的谐振器，其中，

所述振动部还具有：

压电膜；

下部电极，设置于所述压电膜的一侧；以及

两个上部电极，设置于所述压电膜的另一侧，且在所述振动部的所述两个部分的每一个中隔着所述压电膜与所述下部电极对置。

7.根据权利要求6所述的谐振器，其中，

所述振动部的所述两个部分的排列方向上的所述频率调整膜的宽度比所述两个上部电极之间的间隙小。

8.根据权利要求6或7所述的谐振器，其中，

在俯视观察所述振动部的表面时，所述频率调整膜与所述两个上部电极的相互对置的端部的至少一个分离。

9.根据权利要求6～8中任一项所述的谐振器，其中，

所述振动部还具有：

硅基板；和

氧化硅膜，设置在所述硅基板与所述下部电极之间。

10.根据权利要求9所述的谐振器，其中，

所述振动部还具有设置于所述硅基板的与所述下部电极相反侧的氧化硅膜。

11.根据权利要求1～10中任一项所述的谐振器，其中，

所述振动部具有相邻的部分以彼此相反的相位振动的四个以上的部分，

所述频率调整膜设置于比所述相邻的部分各自的中心部靠近所述相邻的部分的边界的区域。

12.一种谐振装置，其中，具备：

权利要求1～11中任一项所述的谐振器；和

盖体，形成供所述谐振器的所述振动部能够弯曲振动的内部空间。

13.一种谐振器，其中，具备：

振动部，具有以彼此相反的相位振动的两个部分；和

频率调整膜，设置于所述振动部的表面中的比所述振动部的所述两个部分各自的中心部靠近所述两个部分的边界的区域。

14.一种谐振器，其中，具备：

振动部，具有以彼此相反的相位振动的两个部分；

保持部，形成为将所述振动部的至少一部分包围；以及

保持单元，将所述振动部与所述保持部连接，

所述振动部具有：

压电膜；

下部电极，设置于所述压电膜的一侧；

两个上部电极，设置于所述压电膜的另一侧，且在所述振动部的所述两个部分的每一个中隔着所述压电膜与所述下部电极对置；

保护膜，覆盖所述两个上部电极；以及

频率调整膜，隔着所述压电膜及所述保护膜与所述下部电极对置，

在俯视观察所述振动部的表面时，所述频率调整膜设置于比所述两个上部电极各自的中心部靠近所述两个上部电极的相互对置的端部的区域。