[发明专利]光控制系统以及光学反射元件在审
| 申请号: | 202080079441.9 | 申请日: | 2020-10-29 |
| 公开(公告)号: | CN114730072A | 公开(公告)日: | 2022-07-08 |
| 发明(设计)人: | 石田贵巳;小牧一树;高山了一 | 申请(专利权)人: | 松下知识产权经营株式会社 |
| 主分类号: | G02B26/10 | 分类号: | G02B26/10;B81B3/00;B81B7/02;G02B26/08 |
| 代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 齐秀凤 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 控制系统 以及 光学 反射 元件 | ||
1.一种光控制系统,具备:光学反射元件,对光进行反射并使其往复移动;和控制装置,对所述光学反射元件进行控制,
所述光学反射元件具备:
基体;
反射体,对所述光进行反射;和
第一摆动部以及第二摆动部,分别沿着第一轴配置在夹着所述反射体的位置,用于使所述反射体摆动,
所述第一摆动部以及所述第二摆动部各自具备:
第一连接体,沿着所述第一轴配置,前端部与所述反射体连结;
第一振动体,在与所述第一轴交叉的方向上延伸,并与所述第一连接体的基端部连结;
第二振动体,相对于所述第一轴而在所述第一振动体的相反侧,在与所述第一轴交叉的方向上延伸,并与所述第一连接体的基端部连结;
第一驱动体,沿着所述第一轴延伸,基端部与所述第一振动体的前端部连结,并经由所述第一振动体使所述第一连接体动作;
第二驱动体,沿着所述第一轴延伸,基端部与所述第二振动体的前端部连结,并经由所述第二振动体使所述第一连接体动作;和
第二连接体,相对于所述基体将所述第一振动体以及所述第二振动体连接为振动自如,
所述控制装置在使所述第一摆动部的所述第一驱动体以及所述第二驱动体以相同的相位进行振动的情况下,使所述第二摆动部的所述第一驱动体以及所述第二驱动体以相同的相位且与所述第一摆动部相反的相位进行振动。
2.根据权利要求1所述的光控制系统,其中,
所述控制装置在按照所述第一摆动部的所述第一驱动体以及所述第二驱动体与所述第一摆动部的所述第一连接体成为相反的相位的方式,使所述第一摆动部的所述第一驱动体以及所述第二驱动体以相同的相位进行振动的情况下,按照所述第二摆动部的所述第一驱动体以及所述第二驱动体与所述第二摆动部的所述第一连接体成为相反的相位的方式,使所述第二摆动部的所述第一驱动体以及所述第二驱动体以相同的相位进行振动。
3.根据权利要求1或2所述的光控制系统,其中,
所述光学反射元件具备:第三摆动部以及第四摆动部,分别沿着与所述第一轴交叉的第二轴配置在夹着所述反射体的位置,用于使所述反射体摆动,
所述第三摆动部以及所述第四摆动部各自具备:
第三连接体,沿着所述第二轴配置,前端部与所述反射体连结;
第三振动体,在与所述第二轴交叉的方向上延伸,并与所述第三连接体的基端部连结;
第四振动体,相对于所述第二轴而在所述第三振动体的相反侧,在与所述第二轴交叉的方向上延伸,并与所述第三连接体的基端部连结;
第三驱动体,沿着所述第二轴延伸,基端部与所述第三振动体的前端部连结,并经由所述第三振动体使所述第三连接体动作;
第四驱动体,沿着所述第二轴延伸,基端部与所述第四振动体的前端部连结,并经由所述第四振动体使所述第三连接体动作;和
第四连接体,相对于所述基体将所述第三振动体以及所述第四振动体连接为振动自如。
4.根据权利要求3所述的光控制系统,其中,
所述控制装置在使所述第一摆动部的所述第一驱动体以及所述第二驱动体以相同的相位进行振动,并且使所述第二摆动部的所述第一驱动体以及所述第二驱动体以相同的相位且与所述第一摆动部相反的相位进行振动时,使所述第三摆动部的所述第三驱动体以及所述第四驱动体以相反的相位进行振动,并且使所述第四摆动部的所述第三驱动体以及所述第四驱动体以相反的相位进行振动,以使所述反射体的摆动被放大。
5.根据权利要求4所述的光控制系统,其中,
所述控制装置在使所述第三摆动部的所述第三驱动体以及所述第四驱动体以相同的相位进行振动,并且使所述第四摆动部的所述第三驱动体以及所述第四驱动体以相同的相位且与所述第三摆动部相反的相位进行振动时,使所述第一摆动部的所述第一驱动体以及所述第二驱动体以相反的相位进行振动,并且使所述第二摆动部的所述第一驱动体以及所述第二驱动体以相反的相位进行振动,以使所述反射体的摆动被放大。
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