[发明专利]增加光谱仪视野

权利要求书

1.一种光学设备，包括：

合束器，被光学地耦合以接收来自样品上的第一斑点的第一光束和来自所述样品上的不同于所述第一斑点的第二斑点的第二光束，其中所述合束器进一步被配置为合并所述第一光束和所述第二光束以产生合并光束；

至少一个反射器，被光学地耦合以将来自所述样品的所述第一光束或所述第二光束中的至少一者朝向所述合束器反射；以及

光谱仪，被光学地耦合以在其输入处接收所述合并光束，并被配置为基于所述合并光束获得所述样品上的扩展斑点区域的光谱，其中所述扩展斑点区域包括所述第一斑点和所述第二斑点。

2.根据权利要求1所述的光学设备，其中所述至少一个反射器包括第一反射器和第二反射器。

3.根据权利要求2所述的光学设备，其中所述第一反射器和所述第二反射器各自包括45度平面反射镜。

4.根据权利要求2所述的光学设备，其中所述第一反射器和所述第二反射器各自包括曲面反射镜。

5.根据权利要求2所述的光学设备，其中所述合束器包括彼此垂直的两个反射镜。

6.根据权利要求2所述的光学设备，进一步包括：

第一单元，包括所述第一反射器和所述合束器的第一平面反射镜；以及

第二单元，包括所述第二反射器和所述合束器的第二平面反射镜。

7.根据权利要求6所述的光学设备，进一步包括：

多个单元，其包括以树状结构配置的所述第一单元和所述第二单元，其中所述多个单元中的每一者被配置为将来自所述样品上的至少一个斑点的光耦合到所述合束器。

8.根据权利要求2所述的光学设备，进一步包括：

装置，包括所述第一反射器、所述第二反射器和所述合束器；以及

旋转器件，被耦合到所述装置并且被配置成围绕所述装置的中心轴线旋转所述装置以便在所述样品上产生扫描区域，所述扫描区域包括所述扩展斑点区域。

9.根据权利要求8所述的光学设备，其中：

所述扫描区域包括环，所述环具有由所述第一反射器和所述第二反射器之间的间隔控制的直径。

10.根据权利要求2所述的光学设备，进一步包括：

第一透镜，被光学地耦合在所述第一反射器和所述合束器之间；以及

第二透镜，被光学地耦合在所述第二反射器与所述合束器之间。

11.根据权利要求2所述的光学设备，进一步包括：

第一透镜，被光学地耦合在所述样品和所述第一反射器之间；以及

第二透镜，被光学地耦合在所述样品和所述第二反射器之间。

12.根据权利要求1所述的光学设备，进一步包括：

被光学地耦合在所述合束器和所述光谱仪之间的透镜。

13.根据权利要求1所述的光学设备，进一步包括：

线性致动器，被耦合到所述至少一个反射器并且被配置成移位所述至少一个反射器以在不同的对应斑点处扫描所述样品。

14.根据权利要求1所述的光学设备，其中所述合束器包括四棱锥形合束器，并且所述至少一个反射器包括四个反射器，每个反射器被光学地耦合以将来自所述样品上的相应斑点的相应光束导向所述四棱锥形合束器。

15.根据权利要求1所述的光学设备，其中所述合束器包括圆锥形合束器，并且所述至少一个反射器包括圆形反射器，所述圆形反射器被光学地耦合以将来自所述样品上的多个斑点的多个光束导向所述圆锥形合束器。