[发明专利]用于非静态系统的模型管理

说明书

一种改善物理过程的质量和产量中的至少一个的方法，包括：从所述物理过程的相应执行获得与所述物理过程相关联的多个变量的值；确定表示针对所述物理过程的所述执行的所述变量的所述值的至少一个高斯混合模型(GMM)；至少部分地基于所述至少一个GMM，针对所述物理过程的所述执行中的至少一个执行计算所述变量中的至少一个变量的至少一个异常分数；基于所述至少一个异常分数，将所述物理过程的执行中的所述至少一个执行标识为异常值；以及至少部分地基于所述异常值的识别，针对所述物理过程的一次或多次后续执行修改所述变量中的所述至少一个变量。

技术领域

本发明涉及电气、电子和计算机领域，并且更具体地涉及制造微电子产品和/或半导体器件，诸如集成电路(IC)制造。

背景技术

制造微电子产品和/或半导体器件，例如IC制造，通常涉及包括数百个单元处理的多个阶段。微电子产品的总质量和产量取决于各个单元处理的产量和质量，以及取决于数百个单元处理的成功集成。此外，半导体制造可涉及非静态系统。然而，通过简单的统计方法对于非静态系统的异常检测是困难的。因此，对于改善单个单元过程或其小集合的质量和产量，存在长期期望但未满足的需要。

因此，在本领域中需要解决上述问题。

发明内容

从第一方面来看，本发明提供了一种用于改进物理过程的质量和产量中的至少一个的方法，包括：从所述物理过程的相应执行获得与所述物理过程相关联的多个变量的值；确定表示针对所述物理过程的所述执行的所述多个变量的所述值的至少一个高斯混合模型(GMM)；至少部分地基于所述至少一个高斯混合模型，针对所述物理过程的所述执行中的至少一个执行计算所述变量中的至少一个变量的至少一个异常分数；基于所述变量中的所述至少一个的所述至少一个异常分数，将所述物理过程的所述执行中的所述至少一个识别为异常值；以及至少部分地基于异常值的识别，修改所述变量中的所述至少一个变量以用于所述物理过程的一个或多个后续执行，以便改进所述物理过程的质量和产量中的所述至少一个。

从另一方面来看，本发明提供用于改进物理过程的质量和产量中的至少一个的装置，所述装置包括：存储器；以及耦合到所述存储器的至少一个处理器，所述处理器可操作为：从所述物理过程的相应执行获得与所述物理过程相关联的多个变量的值；确定表示针对所述物理过程的所述执行的所述多个变量的所述值的至少一个高斯混合模型(GMM)；至少部分地基于所述至少一个高斯混合模型，针对所述物理过程的所述执行中的至少一个执行计算所述变量中的至少一个变量的至少一个异常分数；基于所述变量中的所述至少一个的所述至少一个异常分数，将所述物理过程的所述执行中的所述至少一个识别为异常值；以及至少部分地基于异常值标识，修改所述变量中的所述至少一个变量以用于所述物理过程的一个或多个后续执行，以便改进所述物理过程的质量和产量中的所述至少一个。

从另一方面来看，本发明提供了一种用于改进物理过程的质量和产量中的至少一个的计算机程序产品，该计算机程序产品包括计算机可读存储介质，该计算机可读存储介质可由处理电路读取并且存储用于由该处理电路执行以便执行用于执行本发明的步骤的方法的指令。

从另一方面来看，本发明提供一种存储在计算机可读媒质上并且可加载到数字计算机的内部存储器中的计算机程序，该计算机程序包括当所述程序在计算机上运行时用于执行本发明的步骤的软件代码部分。