[发明专利]超声波共振体的支承构造以及超声波振动加工装置

权利要求书

1.一种超声波共振体的支承构造，其将在安装有加工工具的超声波变幅器的轴向的两侧分别同轴地连结有第1增强器和第2增强器的超声波共振体以两端支承的方式支承为能够相对于保持架进行旋转，其特征在于，

所述保持架具有：

滚动轴承机构，其将所述超声波共振体的所述第1增强器这一侧支承为能够旋转而对推力方向的载荷进行支承；以及

气体轴承机构，其利用径向气体轴承部将所述超声波共振体的所述第2增强器这一侧支承为能够旋转。

2.根据权利要求1所述的超声波共振体的支承构造，其特征在于，

所述滚动轴承机构具有：

第1固定圆筒部，其安装于所述保持架的一侧；

球轴承，其保持于该第1固定圆筒部的内侧；以及

圆筒体，其在内部对所述第1增强器进行保持，外周被所述球轴承支承而与所述超声波共振体一起进行旋转，

所述气体轴承机构具有：

所述径向气体轴承部；以及

第2固定圆筒部，其安装于所述保持架的另一侧，

所述径向气体轴承部在所述第2固定圆筒部的内侧将所述第2增强器的外周支承为能够旋转。

3.根据权利要求2所述的超声波共振体的支承构造，其特征在于，

在所述第1增强器的外周设置有被保持在所述圆筒体的内部的支承部。

4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的超声波共振体的支承构造，其特征在于，

所述超声波变幅器和所述第1增强器、所述第2增强器各自的轴向长度与在所述超声波共振体中产生的超声波振动的波长的1/2的长度的整数倍相等。

5.一种超声波振动加工装置，其特征在于，

该超声波振动加工装置具有权利要求1至4中的任意一项所述的超声波共振体的支承构造。

6.根据权利要求5所述的超声波振动加工装置，其特征在于，

所述超声波共振体以使所述第2增强器这一侧斜向下或者铅垂向下的方式配置。