[发明专利]透射式小角度散射装置

权利要求书

1.一种透射式小角度散射装置，其特征在于，配备有：

配置作为检查对象的试样的试样保持部；

使所述试样保持部移动的试样定位机构；

包含有旋转臂的测角器；

搭载于所述旋转臂的X射线照射单元；以及

搭载于所述旋转臂的二维X射线检测器，

所述旋转臂以铅垂方向的配置状态作为原点，围绕从该原点沿水平方向延伸的θ轴自由转动，

所述X射线照射单元搭载于所述旋转臂的下侧端部，

所述二维X射线检测器搭载于所述旋转臂的上侧端部，

对配置于所述试样保持部的试样从下方照射从所述X射线照射单元射出的汇聚X射线，并且，所述二维X射线检测器在所述试样的上方位置检测在透过该试样的汇聚X射线的周围产生的散射X射线。

2.如权利要求1所述的透射式小角度散射装置，其特征在于，所述旋转臂由多个臂构件构成，其中一个臂构件被固定于所述测角器的θ旋转轴，其它臂构件相对于被固定于该θ旋转轴的臂构件可滑动地重合。

3.如权利要求1或2所述的透射式小角度散射装置，其特征在于，所述试样保持部形成于试样保持框架的内侧，

所述试样保持框架的内侧形成X射线透射孔，在面对该X射线透射孔的状态下支承所述试样。

4.如权利要求3所述的透射式小角度散射装置，其特征在于，在所述试样保持框架的内周缘，吸附支承片从多个部位向内侧突出，由这些吸附支承片吸附支承所述试样的外周缘部的一部分。

5.如权利要求1至4中任一项所述的透射式小角度散射装置，其特征在于，所述试样定位机构包括：用于使被支承于所述试样保持部的试样在平面内旋转的平面内旋转机构；用于使所述试样保持部在前后方向上移动的Y轴移动机构；用于使所述试样保持部在横向方向上移动的X轴移动机构；用于使所述试样保持部在上下方向上移动的Z轴移动机构；以及用于使所述试样保持部摆动的摆动机构，

所述Z轴移动机构包括组合成楔形的导向构件和滑动构件，通过所述导向构件在一个方向上移动，将所述滑动构件推起，通过所述导向构件在相反方向上移动，使所述滑动构件下降，使所述试样保持部与该滑动构件一起在上下方向上移动。

6.如权利要求1至5中任一项所述的透射式小角度散射装置，其特征在于，所述透射式小角度散射装置是配备有用于覆盖周围的外部框体的透射式小角度散射装置，

所述外部框体包括框体本体、以及一个或者多个框体要素构件，所述框体要素构件相对于所述框体本体在上下方向上自由移动，

形成将所述框体要素构件与所述框体本体重叠的状态、以及将所述框体要素构件从所述框体本体拉长的状态。