[发明专利]具有膜状树脂层的薄板状层叠物的制造装置

说明书

提供一种能够在层叠于薄板状基材的膜状树脂层以高精度稳定地形成凹凸形状的具有膜状树脂层的薄板状层叠物的制造装置。具有：安设装置(31)，制作在被加工件(85)的两面侧配置有模具(110)的模具保持构造体(100)；加热装置(41)，将模具加热到膜状树脂组成物(84)的热变形温度；夹压辊装置(51)，将模具被加热后的模具保持构造体导入到两个加压辊(52、54)间，借助加压辊的旋转，从模具外表面夹压，将膜状树脂组成物和基材(81)一体地热压接，形成为具有膜状树脂层(82)的薄板状层叠物(80)；以及取出装置(61)，从夹压后的模具保持构造体将模具拆下。

技术领域

本发明涉及具有膜状树脂层的薄板状层叠物的制造装置。

背景技术

树脂膜因成形性、耐腐蚀性等机械特性等优良、轻量且容易加工、与其他树脂材料也容易熔合等优点，被用于装饰材料、包装材料、粘接性膜、光学部件等非常广泛的用途。

例如，在制造半导体的基板等薄板状层叠物的情况下，在基材表面层叠膜状的树脂层。在该薄板状层叠物中，在薄板状基材上的树脂层转印规定的凹凸形状，进行蚀刻，从而在基材表面形成与树脂层的凹凸形状对应的凹凸构造(例如，参照专利文献1)。在向上述薄板状层叠物的树脂层的转印中，例如如图16所示，相对于在基材221层叠有树脂层222的被加工件220，将具有凹凸面形状的模具面211的模具210配置在树脂层222侧，经由模具210进行加压，从而在树脂层222形成凹凸形状223。另外，图中的附图标记200表示加压装置等加压机构，201表示加压机构200的底盘。

这样的基板表面的凹凸构造等由于是发挥规定的功能性的结构，所以被要求较高的精密度。但是，由于薄板状层叠物的膜状树脂层壁非常薄，所以难以在树脂层以高精度稳定地形成凹凸形状。特别是，在基板表面的凹凸较微细的情况下，加工精度的好坏给功能性带来较大的影响，所以要求加工精度的提高。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2018－200931号公报。

发明内容

发明要解决的课题

本发明是鉴于上述状况而提出的，提供一种能够在层叠于薄板状基材的膜状树脂层以高精度稳定地形成凹凸形状的具有膜状树脂层的薄板状层叠物的制造装置。

用来解决课题的手段

即，技术方案1的发明涉及具有膜状树脂层的薄板状层叠物的制造装置，是将在薄板状基材的至少一面侧层叠有膜状树脂组成物的被加工件用模具夹压、得到在前述基材一体地形成有膜状树脂层的薄板状层叠物的装置，其特征在于，具有：安设装置，制作在前述被加工件的两面侧配置有前述模具的模具保持构造体；加热装置，将前述模具加热到前述膜状树脂组成物的热变形温度；夹压辊装置，将前述模具被加热后的模具保持构造体导入到两个加压辊间，借助前述加压辊的旋转，从前述模具外表面夹压，将前述膜状树脂组成物和前述基材一体地热压接，形成为具有膜状树脂层的薄板状层叠物；以及取出装置，从前述夹压后的模具保持构造体将前述模具拆下。

技术方案2的发明涉及技术方案1所述的具有膜状树脂层的薄板状层叠物的制造装置，前述加热装置将夹持着前述被加工件的模具加热。

技术方案3的发明涉及技术方案1所述的具有膜状树脂层的薄板状层叠物的制造装置，前述加热装置将没有夹持前述被加工件的模具加热。

技术方案4的发明涉及技术方案1～3中任一项所述的具有膜状树脂层的薄板状层叠物的制造装置，具备将被前述夹压辊装置夹压的前述模具冷却的冷却装置。

技术方案5的发明涉及技术方案1～4中任一项所述的具有膜状树脂层的薄板状层叠物的制造装置，前述安设装置和前述取出装置是共同的装置。