[发明专利]转印膜及带图案的基板的制造方法

说明书

一种转印膜以及带图案的基板的制造方法，所述转印膜依次具有：临时支承体；第一树脂层，含有包含源自乙烯基苯衍生物的结构单元的碱溶性树脂(A)、聚合性化合物及聚合引发剂；及第二树脂层，包含酸值为130mgKOH/g以上的碱溶性树脂(B)，上述碱溶性树脂(A)中的源自乙烯基苯衍生物的结构单元的含有率相对于上述碱溶性树脂(A)的所有结构单元为30质量％以上。

技术领域

本发明涉及一种转印膜及带图案的基板的制造方法。

背景技术

在具备静电电容型输入装置等触摸面板的显示装置〔有机电致发光(EL)显示装置、液晶显示装置等〕中，在触摸面板的内部设置有相当于可见部的传感器的电极图案以及周边配线部分及取出配线部分的配线等导电层图案。

通常，出于用于得到所需的图案形状的工序数少的原因，图案化层的形成中广泛利用使用感光性转印材料的方法。具体而言，对使用感光性转印材料设置于任意的基板上的感光性树脂组合物的层经由具有所期望的图案的掩模进行曝光之后显影，由此能够得到所需的图案形状。

例如，日本特开2018-24225号公报中公开有一种转印膜，其在临时支承体上从临时支承体侧依次具有：第1透明层，至少包含聚合性单体及树脂；第2透明层，至少包含金属氧化物粒子及树脂，且平均厚度小于200nm；及第3透明层，平均厚度薄于上述第2透明层的平均厚度，且通过X射线光电子能谱法从与上述第2透明层接触的面的相反的一侧的最表面测定时的、300μm见方的面积中金属原子相对于所有原子的比率为2％以下。

并且，在国际公开第2017/209002号中公开有一种转印膜，其具备：感光性树脂层，包含感光性树脂组合物的固体成分，该感光性树脂组合物含有I/O值为0.5以上且重均分子量为25,000以下的粘合剂、颜料、聚合性单体及聚合引发剂，上述颜料的含量相对于感光性树脂组合物的总固体成分量为20质量％以上；及临时支承体。

发明内容

发明要解决的技术课题

对转印膜要求能够形成分辨率优异的图案。作为提高图案的分辨率的方法，有使树脂层含有源自苯乙烯的结构单元的比例高的树脂(所谓的粘合剂树脂)的方法。包含源自苯乙烯的结构单元的比例高的粘合剂树脂的树脂层在显影时不易溶胀，因此能够实现形成高分辨率的图案。

但是，本发明人等以提高图案的分辨率为目的，使树脂层含有源自苯乙烯的结构单元的比例多的粘合剂树脂，其结果，得知有时基板会发生变色。在转印膜中，以往难以提高图案的分辨率，并且抑制基板的变色。

关于上述点，日本特开2018-24225号公报及国际公开第2017/209002号中所记载的转印膜均具有如下树脂层，该树脂层含有包含源自苯乙烯的结构单元的粘合剂树脂。但是，在日本特开2018-24225号公报及国际公开第2017/209002号中，关于使树脂层含有源自苯乙烯的结构单元的比例多的粘合剂树脂时可能发生的问题，并没有进行任何关注，并且，关于在具有包含源自苯乙烯的结构单元的比例多的粘合剂树脂的树脂层的转印膜中兼顾提高图案的分辨率及抑制基板的变色，并未进行任何提及。

本发明的一实施方式要解决的课题在于提供一种不易使基板变色且能够形成分辨率优异的图案的转印膜。

并且，本发明的另一实施方式要解决的课题在于提供一种使用了上述转印膜的带图案的基板的制造方法。

用于解决技术课题的手段

用于解决上述课题的方案中包括以下方式。

1一种转印膜，其依次具有：

临时支承体；

第一树脂层，其包含含有源自乙烯基苯衍生物的结构单元的碱溶性树脂(A)、聚合性化合物及聚合引发剂；及

第二树脂层，其包含酸值为130mgKOH/g以上的碱溶性树脂(B)，