[发明专利]压力传感器

说明书

本发明的压力传感器防止使管座和检测电路绝缘的绝缘膜的膜剥落或裂纹的问题。压力传感器具有：管座，其具有平面状的外底面、沿相对于所述外底面交叉的方向延伸的外侧面、以及为所述外底面的相反面并且受到来自作为测定对象的流体的压力的受压内面；以及检测电路，其相对于所述外底面隔着绝缘膜设置，所述管座具有：平缓部，以包围所述外底面的方式形成，从平行于所述外底面的方向观察，由朝向与所述外底面及所述外侧面不同的方向的面构成，并且连接所述外底面和所述外侧面，所述绝缘膜覆盖所述平缓部的至少一部分。

技术领域

本发明涉及在管座(steam)的外底面隔着绝缘膜设置检测电路的压力传感器。

背景技术

作为压力传感器，已知有在由金属等形成的管座的外底面隔着绝缘膜设置检测电路的压力传感器。作为检测电路，例如有利用压阻效应(也称为压电阻效应)，根据电阻变化检测管座的底壁部(也称为膜或隔膜)的应变的电路。在这种压力传感器中，绝缘膜通过确保管座和检测电路之间的绝缘性，实现检测电路的适当的压力检测。

但是，这种压力传感器的绝缘膜形成于由压力而产生变形的管座的底壁部，还由于测定对象的流体而暴露在高温环境下，因此，存在产生膜剥落或裂纹等的问题。产生于绝缘膜的膜剥落或裂纹有可能导致压力传感器的性能降低及耐久寿命的降低，因此成为问题。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平5－13782号公报

发明内容

发明所要解决的问题

本发明是鉴于这种实际情况而做出的，并且提供一种压力传感器，其防止使管座和检测电路绝缘的绝缘膜的膜剥落或裂纹的问题。

用于解决问题的技术方案

为了实现上述目的，本发明所涉及的压力传感器具有：

管座，其具有平面状的外底面、沿相对于所述外底面交叉的方向延伸的外侧面、以及为所述外底面的相反面并且受到来自作为测定对象的流体的压力的受压内面；以及

检测电路，其相对于所述外底面隔着绝缘膜设置，

所述管座具有：平缓部，其以包围所述外底面的方式形成，从垂直于所述外底面的方向观察，由朝向与所述外底面及所述外侧面不同的方向的面构成，并且连接所述外底面和所述外侧面，

所述绝缘膜覆盖所述平缓部的至少一部分。

在本发明所涉及的压力传感器中，在绝缘膜紧贴的管座的表面形成有平缓部。在现有的管座，外底面和外侧面大致垂直地连接，因此，可认为在绝缘膜，在覆盖该部分的部分及其周边产生应力集中，成为膜剥落或裂纹的起点。与之相对，在本发明所涉及的压力传感器的管座，不是将外底面和外侧面直接连接，而是将外底面和外侧面经由平缓部连接。因此，通过平缓部的存在缓和外底面和外侧面之间的急剧的面的方向的变化，降低在覆盖管座的表面的绝缘膜的应力集中，本发明所涉及的压力传感器能够防止绝缘膜的膜剥落或裂纹等的产生。

另外，例如，也可以是，从垂直于所述外底面的方向观察，从作为所述外底面和所述平缓部的边界的第一边界到作为所述平缓部和所述外侧面的边界的第二边界的长度为10μm以上1mm以下。

通过将平缓部的长度设为10μm以上，能够更有效地降低在覆盖平缓部及其周边的绝缘膜的应力集中，因此，具有这种平缓部的压力传感器获得耐久性及可靠性的进一步的改善效果。另外，通过将平缓部的长度设为1mm以下，有助于压力传感器的小型化。

另外，例如，也可以是，所述平缓部以包围所述外底面的方式形成，并且在正交于所述外底面的截面观察，具有相对于所述外底面形成30度～60度的角度的倾斜面。