[发明专利]压力传感器

权利要求书

1.一种压力传感器，其中，

具有：

管座，其具有平面状的外底面、沿相对于所述外底面交叉的方向延伸的外侧面、以及为所述外底面的相反面并且受到来自作为测定对象的流体的压力的受压内面；以及

检测电路，其相对于所述外底面隔着绝缘膜而设置，

所述管座具有：平缓部，其以包围所述外底面的方式形成，从平行于所述外底面的方向观察，由朝向与所述外底面及所述外侧面不同的方向的面构成，并且连接所述外底面和所述外侧面，

所述绝缘膜覆盖所述平缓部的至少一部分。

2.根据权利要求1所述的压力传感器，其中，

从垂直于所述外底面的方向观察，从作为所述外底面和所述平缓部的边界的第一边界到作为所述平缓部和所述外侧面的边界的第二边界的长度为10μm以上1mm以下。

3.根据权利要求1或2所述的压力传感器，其中，

所述平缓部，以包围所述外底面的方式形成，并且在正交于所述外底面的截面观察，具有相对于所述外底面形成30度～60度的角度的倾斜面。

4.根据权利要求3所述的压力传感器，其中，

所述倾斜面相对于所述外底面直接连接、或相对于所述外底面经由形成比所述倾斜面小的角度的连接面而连接。

5.根据权利要求3或4所述的压力传感器，其中，

在正交于所述外底面的截面观察，所述倾斜面相对于所述外底面形成一定的角度。

6.根据权利要求3或4所述的压力传感器，其中，

在正交于所述外底面的截面观察，所述倾斜面以相对于所述外底面形成的角度随着远离所述外底面而变大的方式进行变化。

7.根据权利要求1～3中任一项所述的压力传感器，其中，

在正交于所述外底面的截面观察，所述平缓部具有相对于所述外底面形成的角度随着远离作为所述外底面和所述平缓部的边界的第一边界而过渡性变大的曲面形状。