[发明专利]纳秒脉冲发生器电路中的高效能量恢复在审
| 申请号： | 202080018485.0 | 申请日： | 2020-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN113906677A | 公开（公告）日： | 2022-01-07 |
| 发明（设计）人： | 詹姆斯·普拉格;迪麦西·津巴;肯尼斯·米勒;艾丽亚·斯劳伯道夫;摩根·奎因雷 | 申请（专利权）人： | 鹰港科技有限公司 |
| 主分类号： | H03K3/01 | 分类号： | H03K3/01;H03K3/02;H03K3/021;H03K3/53;H03K3/57;H03K17/80 |
| 代理公司： | 上海君立衡知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31389 | 代理人： | 黄庆 |
| 地址： | 美国华盛顿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 脉冲 发生器 电路 中的 高效 能量 恢复 | ||
1.一种纳秒脉冲发生器电路，包括：
高电压电源；
纳秒脉冲发生器，其与所述高电压电源电耦合并且以高频率对来自所述高电压电源的电压进行开关；
变压器，其具有初级侧和次级侧，所述纳秒脉冲发生器与所述变压器的所述初级侧电耦合；和
能量恢复电路，其与所述变压器的所述次级侧电耦合，所述能量恢复电路包括：
能量恢复电感器，其与所述高电压电源电耦合；
消弧二极管，其布置为与所述变压器的所述次级侧并联；和
第二二极管，其部署为与所述能量恢复电感器串联，并且布置为将电流从负载通过所述能量恢复电感器传导到所述高电压电源。
2.如权利要求1所述的纳秒脉冲发生器电路，其中，所述能量恢复电感器包括大于大约50μH的电感。
3.如权利要求1所述的纳秒脉冲发生器电路，其中，所述纳秒脉冲发生器以大约400kHz的频率对来自所述高电压电源的电压进行开关。
4.如权利要求1所述的纳秒脉冲发生器电路，其中，所述纳秒脉冲发生器电路向负载提供大于5kV的电压。
5.如权利要求1所述的纳秒脉冲发生器电路，其中，所述负载包括电容性负载。
6.如权利要求1所述的纳秒脉冲发生器电路，其中，所述负载包括等离子体沉积室。
7.如权利要求1所述的纳秒脉冲发生器电路，其中，所述能量恢复电路还包括高电压开关，其与所述第二二极管和所述能量恢复电感器串联。
8.如权利要求7所述的纳秒脉冲发生器电路，其中，所述高电压开关对大于5kV的电压进行开关。
9.如权利要求1所述的纳秒脉冲发生器电路，其中，所述高电压电源提供具有大于1kV的电压的DC功率。
10.一种电路，包括：
存储电容器；
开关电路，其与所述存储电容器耦合，所述开关电路输出具有大于1kV电压并且具有大于1kHz频率的波形；
变压器，其具有初级侧和次级侧，所述开关电路与所述变压器的所述初级侧电耦合；和
能量恢复电路，其与所述变压器的所述次级侧和所述存储电容器电耦合，所述能量恢复电路包括：
能量恢复电感器，其与所述高电压电源电耦合；和
第二二极管，其部署为与所述能量恢复电感器串联，并且布置为将电流从负载通过所述能量恢复电感器传导到所述高电压电源。
11.如权利要求10所述的电路，其中，所述能量恢复电路包括消弧二极管，其布置为与所述变压器的所述次级侧并联。
12.如权利要求10所述的电路，其中，所述开关电路包括纳秒脉冲发生器。
13.如权利要求10所述的电路，其中，所述开关电路包括RF驱动器，其以高于大约400kHz的频率进行操作。
14.如权利要求13所述的电路，其中，所述RF驱动器包括半桥驱动器或全桥驱动器。
15.如权利要求10所述的电路，还包括：偏置补偿电路包括：偏置补偿二极管，其与偏置补偿开关并联；和DC电源，其布置为与所述偏置补偿二极管和所述偏置补偿开关串联。
16.如权利要求10所述的电路，其中，所述能量恢复电感器包括大于50μH的电感。
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