[实用新型]晶圆机械臂线性校正治具有效
| 申请号： | 202023325062.X | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN215149268U | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 吴国明 | 申请（专利权）人： | 泓浒（苏州）半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B25J19/00 | 分类号： | B25J19/00 |
| 代理公司： | 苏州隆恒知识产权代理事务所(普通合伙) 32366 | 代理人： | 金京 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 机械 线性 校正 | ||
1.一种晶圆机械臂线性校正治具，用于校正第一机械臂(10)与第二机械臂(20)的相对位置，使所述第一机械臂(10)、所述第二机械臂(20)相互平行，所述第一机械臂(10)、第二机械臂(20)分别具有相互平行的两个侧壁，其特征在于：所述晶圆机械臂线性校正治具包括第一校正板(1)和第二校正板(2)，所述第一校正板(1)紧靠于所述第一机械臂(10)、所述第二机械臂(20)的一个侧壁，所述第二校正板(2)紧靠于所述第一机械臂(10)、所述第二机械臂(20)的另一个侧壁，所述第一校正板(1)和第二校正板(2)两端分别延伸出所述第一机械臂(10)和所述第二机械臂(20)的侧壁之外，所述第一校正板(1)和第二校正板(2)的两端通过可拆卸的紧固装置(3)锁紧。
2.根据权利要求1所述的晶圆机械臂线性校正治具，其特征在于：所述紧固装置(3)为设置在所述第一校正板(1)和第二校正板(2)两端的一个或多个螺栓。
3.根据权利要求2所述的晶圆机械臂线性校正治具，其特征在于：所述紧固装置(3)为分别设置在所述第一校正板(1)和第二校正板(2)两端的一对螺栓，所述第一校正板(1)和第二校正板(2)的两端分别通过一对螺栓锁紧。
4.根据权利要求1所述的晶圆机械臂线性校正治具，其特征在于：所述第一校正板(1)和所述第二校正板(2)通过紧固装置锁紧后，其高度不大于所述第一机械臂(10)和所述第二机械臂(20)中任意一个的高度。
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