[实用新型]一种防震动湿法清洗设备进液装置

说明书

本实用新型公开了一种防震动湿法清洗设备进液装置，包括安装框架、阀件固定板、加热器固定板，所述阀件固定板、所述加热器固定板均固定安装于所述安装框架上，所述阀件固定板安装于所述安装框架的两侧，所述加热器固定板安装于安装框架的顶部，所述调节电磁阀集成安装于所述阀件固定板上，所述加热器安装于所述加热器固定板上，所述过滤器设置于所述加热器的旁侧，所述介质输送泵安装于所述安装框架的底部并位于所述加热器与所述过滤器之间。本实用新型通过将各个阀门集成安装于阀门固定板上，将加热器安装于加热器固定板上，再将阀门固定板与加热器固定板安装在安装框体上，可以有效提高进液装置的安装稳定性，避免了液体介质在传输时产生气泡。

技术领域

本实用新型属于半导体设备技术领域，具体涉及一种防震动湿法清洗设备进液装置。

背景技术

半导体湿法设备在工作的过程中，涉及到酸液、碱液及有机液体的使用，其需要将液体溶液或者气体溶质借由泵或者是其他的转换输送介质进行传输。介质在输送的过程中，由于需要经过多个管路及多个输送装置，泵、加热装置及阀件在运行的过程中会产生大量的震动的情形，由于震动的产生，在液体溶液内会产生气泡或者发生液体不均匀的情况，造成清洗液失效，影响晶圆产品的清洗质量，晶圆产品的表面形成清洗盲区，进而导致晶圆产品失效。

实用新型内容

针对现有技术中存在的问题，本实用新型提供一种防震动湿法清洗设备进液装置，本实用新型能够保证湿法清洗设备的进液的稳定性，提高清洗溶液的稳定性，保证晶圆产品的清洗质量。

为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型提供一种防震动湿法清洗设备进液装置，包括进液管路、配液槽、介质输送泵、加热器、过滤器、排液管路、调节阀，所述进液管路的进口连接外部供液系统，出口连接所述配液槽的进口，配液槽的出口通过第一输送管路连接所述介质输送泵的进口，所述介质输送泵的出口通过第二输送管路连接所述加热器的进口，所述加热器的出口通过第三输送管路连接所述过滤器的进口，所述过滤器的出口通过排液管路连接清洗槽，所述进液管路、所述第一输送管路、所述第二输送管路、所述第三输送管路、所述排液管路上均设置有调节电磁阀；

还包括安装框架、阀件固定板、加热器固定板，所述阀件固定板、所述加热器固定板均固定安装于所述安装框架上，所述阀件固定板安装于所述安装框架的两侧，所述加热器固定板安装于所述安装框架的顶部，所述调节电磁阀集成安装于所述阀件固定板上，所述加热器安装于所述加热器固定板上，所述过滤器设置于所述加热器的旁侧，所述过滤器的中轴线、所述加热器的中轴线、所述第三输送管路之间形成三角形结构，所述介质输送泵安装于所述安装框架的底部并位于所述加热器与所述过滤器之间。

作为优选的技术方案，所述过滤器的顶部设置有过滤器安装架，所述过滤器安装架为U形结构，其底部设置有卡合槽，所述过滤器的顶部固定于所述卡合槽内，所述过滤器安装架的顶部安装于湿法设备的主框架上。

作为优选的技术方案，所述过滤器与所述过滤器安装架之间设置有塑式活动式卡簧。

作为优选的技术方案，所述阀件固定板与所述安装框架之间的安装、所述加热器与所述安装框架之间的安装、所述过滤器安装架与所述主框架之间的安装均采用螺栓螺母式安装，所述螺栓为缓冲螺母，所述缓冲螺母的两侧沿螺母主体的周向设置有三角形缓冲齿。

作为优选的技术方案，所述安装框架靠近所述加热器固定板的一侧设置有一个阀件固定板，另一侧设置有两个阀件固定板。

作为优选的技术方案，所述进液管路设置为两路，包括酸液进液管路及纯水进液管路。

作为优选的技术方案，所述安装框架安装于湿法清洗设备的清洗单元，每个清洗单元设置有1个或2个进液装置。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：