[实用新型]一种在线式甩干干燥装置

说明书

本实用新型公开了一种在线式甩干干燥装置，包括槽体，所述槽体内腔设有旋转花篮，承载盒置于所述旋转花篮内，所述旋转花篮的一端与旋转驱动部件连接，气电滑环与所述旋转驱动部件连接，所述承载盒的一侧设有挡片机构，另一侧设有翻板压紧机构，所述槽体内腔靠近所述翻板压紧机构处还设有平板风道；减少硅片或晶圆的污染,减少硅片或晶圆的水纹印，减少或避免水痕片,降低设备能耗、节省能源,无易挥发的有机物排放，绿色环保。

技术领域

本实用新型涉及一种在线式甩干干燥装置，属于清洗工艺技术领域。

背景技术

清洗工艺是太阳能电池、半导体生产制程中的主要工艺之一，而湿法清洗工艺又是太阳能光伏清洗、半导体清洗使用率最高的清洗工艺。

湿法清洗工艺的最后一道工序是干燥，硅片或晶圆干燥品质的好坏，直接影响着硅片或晶圆成品率的高低。

国内光伏行业在大规模发展的初期普遍采用离线甩干技术来干燥太阳能硅片。离线甩干工艺给光伏生产企业增加了一道工序，也增加了人手，带来了成本的上升。在2011年后期，光伏企业在产线升级过程中，湿法清洗工艺就基本淘汰了离线甩干技术工艺。

相对于光伏行业，半导体行业企业晶圆产量少，清洗工艺中，一部分仍旧采用离线甩干干燥工艺，另一部分往往采用易挥发的IPA或酒精来干燥晶圆，虽然产量小，IPA或酒精的挥发控制还是事关企业的安全生产。

目前，光伏企业普遍采用离心风机或高压涡旋风机驱动加热后的空气来吹干或烘干硅片，这种干燥工艺虽然解决了上文提及的离线甩干的两大缺点，但是也带来新的硅片工艺缺陷。主要表现为：1.水痕片；2.硅片表面重新颗粒沾污。这两大缺陷随着现在高效太阳能电池工艺的快速发展，表现得越来越明显，需要对此进行工艺变革或创新。半导体湿制程清洗工艺中的干燥普遍采用离线甩干或IPA/酒精挥发脱水方式来干燥晶圆，离线甩干增加人手成本、也会二次污染；IPA/ 酒精挥发脱水干燥方式，一方面污染环境，也会产生有机物排放，同时还会带来易燃易爆的安全隐患。

实用新型内容

本实用新型提供一种在线式甩干干燥装置用来克服现有技术中干燥工艺使硅片表面重新颗粒沾污和水痕片的缺陷。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：

本实用新型公开了一种在线式甩干干燥装置，包括槽体，所述槽体内腔设有旋转花篮，承载盒置于所述旋转花篮内，所述旋转花篮的一端与旋转驱动部件连接，气电滑环与所述旋转驱动部件连接，所述承载盒的一侧设有挡片机构，另一侧设有翻板压紧机构，所述槽体内腔靠近所述翻板压紧机构处还设有平板风道；

所述旋转驱动部件包括安装座，所述安装座上安装有电机减速机组，所述电机减速机组与旋转主轴通过转动件连接，所述旋转主轴的一端安装于支轴承座组合上，另一端设有气电滑环；

所述翻板压紧机构包括翻转侧板，两块所述翻转侧板之间自下而上分别设有旋转碳棒轴，压紧条板和支撑杆，所述旋转碳棒轴与塑料气缸连接；

挡片机构包括气缸安装前板，所述气缸安装前板的两侧安装有安装条板，镶嵌板镶嵌在所述安装条板上，所述镶嵌板上设有橡胶条，所述气缸安装前板与所述镶嵌板通过导向杆孔棒连接，螺纹连接套的一端与所述镶嵌板固定连接，其另一端穿过气缸安装前板。

进一步的，所述旋转花篮与翻板压紧机构之间设有塑料气缸，所述塑料气缸控制翻板压紧机构的翻板动作。

进一步的，所述挡片机构上也设有塑料气缸，所述塑料气缸控制所述挡片机构的推进与缩进。

进一步的，所述翻板压紧机构通过塑料气缸具有压紧承载盒的作用。

进一步的，所述螺纹连接套的另一端通过气缸安装前板上的工艺孔穿过气缸安装前板与塑料气缸连接。

进一步的，所述导向杆孔棒具有使镶嵌板前进或后退时不发生旋转的作用。