[实用新型]一种芯片测试探针台防打火装置有效
| 申请号： | 202023172851.4 | 申请日： | 2020-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN214310595U | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 徐明星;夏冬生;张朝奇;马齐营 | 申请（专利权）人： | 山东芯诺电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/02 | 分类号： | G01R1/02;F17D1/00;F17D1/02;F17D3/01;F17D3/18 |
| 代理公司： | 青岛发思特专利商标代理有限公司 37212 | 代理人： | 卢登涛 |
| 地址： | 272100 山东省济*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 芯片 测试 探针 打火 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种芯片测试探针台防打火装置，其特征在于：包括氮气(1)、浮子流量计(2)、通气管和洗气瓶(3)，所述氮气(1)通过浮子流量计(2)和通气管通入洗气瓶(3)中，洗气瓶(3)中盛装有全氟聚醚油，使用氮气(1)促进全氟聚醚油挥发成气体，所述洗气瓶(3)的外部联接有出气管(4)，通过出气管(4)将挥发的气体分送至各探针台管道中。
2.根据权利要求1所述的一种芯片测试探针台防打火装置，其特征在于：所述的通气管在通入洗气瓶(3)的位置处设有三孔橡胶塞，通气管分别插入三孔橡胶塞中，其中插入三孔橡胶塞第一个孔中的通气管全部插入全氟聚醚油内促进挥发，插入第二个孔中的通气管在全氟聚醚油液面以上加快挥发气体排出，插入第三个孔中的通气管位于三孔橡胶塞底部将气体向外运输。
3.根据权利要求1所述的一种芯片测试探针台防打火装置，其特征在于：所述的出气管(4)在联接各探针台管道的位置处设有单向电磁阀(5)。
4.根据权利要求3所述的一种芯片测试探针台防打火装置，其特征在于：所述的单向电磁阀(5)的外部联接有节流阀(6)。
5.根据权利要求1所述的一种芯片测试探针台防打火装置，其特征在于：所述的出气管为三通管。
6.根据权利要求1所述的一种芯片测试探针台防打火装置，其特征在于：所述的通气管和出气管均采用PVC管。
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