[实用新型]一种X荧光光谱仪的真空系统

说明书

本实用新型公开了X荧光光谱仪技术领域，具体为一种X荧光光谱仪的真空系统，包括样品室，所述样品室连接有导气管，所述导气管上远离所述样品室的一端并列连接有抽气管和压强平衡管，所述抽气管远离所述导气管的一端连接有真空泵，且所述抽气管的管路上固设有抽气管电磁阀，所述压强平衡管远离所述导气管的一端固设有防尘阻尼块，且压强平衡管通过防尘阻尼块与大气连通，所述压强平衡管的管路上固设有用于调节管道开度的压强平衡管电磁阀。本实用新型实现了探测器窗口不受到气压挤压且阻挡粉尘进入样品室的功能，解决了探测器窗口容易因瞬时压力破裂且粉尘容易进入样品室的问题。

技术领域

本实用新型涉及X荧光光谱仪技术领域，具体为一种X荧光光谱仪的真空系统。

背景技术

X荧光光谱仪的样品室的检测元素周期表序号小于20号的轻元素是无法在大气条件下检测的，需要对样品室进行抽真空操作，在真空状态下对轻元素进行检测。

现有技术中，抽真空和放气操作都是由真空泵完成，真空泵在放气时易产生音爆，所产生的瞬时气压容易将探测器窗口破坏，且真空泵没有设置防尘功能，会有粉尘进入并污染样品室。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种X荧光光谱仪的真空系统，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种X荧光光谱仪的真空系统，包括样品室，所述样品室连接有导气管，所述导气管上远离所述样品室的一端并列连接有抽气管和压强平衡管，所述抽气管远离所述导气管的一端连接有真空泵，且所述抽气管的管路上固设有抽气管电磁阀，所述压强平衡管远离所述导气管的一端固设有防尘阻尼块，且压强平衡管通过防尘阻尼块与大气连通，所述压强平衡管的管路上固设有用于调节管道开度的压强平衡管电磁阀。

可选的，所述样品室呈倒置的三棱柱结构，所述样品室的左右两个矩形侧面上分别固设有X光管与探测器，所述X光管发射的X射线反射后进入所述探测器内。

可选的，所述样品室的顶部固设有用于封堵所述样品室的玻璃盖板，所述玻璃盖板与水平面相平行，所述X光管发射的X射线与所述玻璃盖板的夹角为45度。

可选的，所述导气管的管路上固设有压强传感器，所述压强传感器的信号传输端通过微处理器与所述真空泵电性连接。

可选的，所述防尘阻尼块内嵌于压强平衡管的端口，所述防尘阻尼块上开设有若干孔洞，且所述防尘阻尼块的内侧贴敷有隔音棉。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1.本实用新型通过压强平衡管、压强平衡管电磁阀和防尘阻尼块的相互配合，实现了探测器窗口不受到气压挤压且阻挡粉尘进入样品室的功能，解决了探测器窗口容易因瞬时压力破裂且粉尘容易进入样品室的问题；

2.本实用新型通过样品室的三棱柱结构，最大限度缩小了样品室的容积，实现了快速抽气且能达到很低压强的功能。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型结构正视图；

图3为本实用新型样品室结构正视图。

图中：1、样品室；2、X光管；3、探测器；4、导气管；5、抽气管；6、压强平衡管；7、抽气管电磁阀；8、压强平衡管电磁阀；9、真空泵；10、压强传感器。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。