[实用新型]一种X荧光光谱仪的真空系统有效
| 申请号： | 202022928281.0 | 申请日： | 2020-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN213903366U | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | 刘鑫 | 申请（专利权）人： | 天津市博智伟业科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/223 | 分类号： | G01N23/223;G01N23/2204 |
| 代理公司： | 天津市尚仪知识产权代理事务所(普通合伙) 12217 | 代理人： | 邓琳 |
| 地址： | 300384 天津市滨海新区华苑产业*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 荧光 光谱仪 真空 系统 | ||
1.一种X荧光光谱仪的真空系统，其特征在于：包括样品室(1)，所述样品室(1)连接有导气管(4)，所述导气管(4)上远离所述样品室(1)的一端并列连接有抽气管(5)和压强平衡管(6)，所述抽气管(5)远离所述导气管(4)的一端连接有真空泵(9)，且所述抽气管(5)的管路上固设有抽气管电磁阀(7)，所述压强平衡管(6)远离所述导气管(4)的一端固设有防尘阻尼块，且压强平衡管(6)通过防尘阻尼块与大气连通，所述压强平衡管(6)的管路上固设有用于调节管道开度的压强平衡管电磁阀(8)。
2.根据权利要求1所述的一种X荧光光谱仪的真空系统，其特征在于：所述样品室(1)呈倒置的三棱柱结构，所述样品室(1)的左右两个矩形侧面上分别固设有X光管(2)与探测器(3)，所述X光管(2)发射的X射线反射后进入所述探测器(3)内。
3.根据权利要求2所述的一种X荧光光谱仪的真空系统，其特征在于：所述样品室(1)的顶部固设有用于封堵所述样品室(1)的玻璃盖板，所述玻璃盖板与水平面相平行，所述X光管(2)发射的X射线与所述玻璃盖板的夹角为45度。
4.根据权利要求1所述的一种X荧光光谱仪的真空系统，其特征在于：所述导气管(4)的管路上固设有压强传感器(10)，所述压强传感器(10)的信号传输端通过微处理器与所述真空泵(9)电性连接。
5.根据权利要求1所述的一种X荧光光谱仪的真空系统，其特征在于：所述防尘阻尼块内嵌于压强平衡管(6)的端口，所述防尘阻尼块上开设有若干孔洞，且所述防尘阻尼块的内侧贴敷有隔音棉。
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