[实用新型]用于真空镀膜设备的异向蒸发装置

说明书

本实用新型公开一种用于真空镀膜设备的异向蒸发装置，包括蒸发源和蒸发材料导流器，蒸发源上设有镀膜材料放置槽，镀膜材料放置槽上部设有开口，蒸发材料导流器中设有导流通道，导流通道的一端与镀膜材料放置槽的开口连通，导流通道的另一端开放并朝向工件的待镀膜面。其方法是通过在蒸发源与工件之间设置蒸发材料导流器，蒸发源内的镀膜材料加热蒸发后，产生的镀膜材料蒸汽通过蒸发材料导流器进行导向，根据工件的待镀膜面所处位置改变蒸发方向，从而适应工件的多种不同输送方式。本实用新型可实现从多种不同方向对工件进行蒸发镀膜，适应工件的不同输送方式，提高生产效率。

技术领域

本实用新型涉及蒸发镀膜技术领域，特别涉及一种用于真空镀膜设备的异向蒸发装置。

背景技术

采用蒸发源进行蒸发镀膜是真空镀膜工艺的常用方式，其工艺特点是在真空环境中，通过加热蒸发源，使其蒸发并沉积在工件表面，从而形成膜层。但在目前的真空镀膜设备中，蒸发源的蒸发方向一般是水平向上的，也就是说，工件只能从蒸发源的上方经过，才能实现镀膜，在该情况下，待镀膜的工件需要通过专用的辅助夹具进行夹持后，再放置于蒸发源上方进行蒸发镀膜，若工件采用传统的输送带或传动辊进行输送，则无法实现蒸发镀膜，因此，在实际的真空镀膜生产中，采用蒸发镀膜方式对工件进行镀膜时，往往无法实现工件的连续输送或者其输送机构非常复杂，造成设备成本较高、生产效率也难以提高。

为此，在现有技术中，磁控溅射镀膜方式也是真空镀膜工艺的常用方式，该方式可以实现工件的任意方向镀膜，但由于其镀膜效率较低，很难实现快速镀膜，相比之下，蒸发镀膜的蒸发量非常大，可实现快速镀膜，所以当工件需要大面积镀膜或需要快速镀膜时，目前仍然采用蒸发镀膜的方式。因此，如何解决蒸发镀膜无法变向蒸发的问题，在真空镀膜领域内就具有重要的意义。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种用于真空镀膜设备的异向蒸发装置，该装置可实现从多种不同方向对工件进行蒸发镀膜，适应工件的不同输送方式，提高生产效率。

本实用新型的技术方案为：一种用于真空镀膜设备的异向蒸发装置，包括蒸发源和蒸发材料导流器，蒸发源上设有镀膜材料放置槽，镀膜材料放置槽上部设有开口，蒸发材料导流器中设有导流通道，导流通道的一端与镀膜材料放置槽的开口连通，导流通道的另一端开放并朝向工件的待镀膜面。其中，镀膜材料放置于镀膜材料放置槽内，加热后产生的镀膜材料蒸汽通过蒸发材料导流器中的导流通道进行输送，对工件的待镀膜面进行镀膜，由于导流通道的导向作用，镀膜材料的蒸发方向可产生变化，因此对工件的镀膜方向就不局限于其底面，根据实际生产中工件的一般输送方式，较多地应用于工件上表面的镀膜，当然，也可应用于其侧面的镀膜。在该情况下，工件就可以采用传统的输送带或传动辊进行输送，而不局限于只能采用专用夹具进行输送。

所述蒸发材料导流器包括导流管、加热管套、加热器和保温层，导流管、加热管套和保温层由内到外依次设置，加热器埋于保温层中，导流管内为导流通道。该结构中，镀膜材料蒸汽在蒸发源处已经形成，在蒸发材料导流器中，加热管套、加热器和保温层的主要作用均是对镀膜材料蒸汽进行保温，防止由于输送路径过长而产生凝固或温度下降的现象，从而对工件的镀膜效果其保障作用。

所述加热器为螺旋状的加热管，加热管环绕于加热管套外周。

所述加热管的材料为钨金属加热丝。

所述保温层的材质为氧化铝晶体纤维棉。

所述加热管套的材质为钼片。

所述导流通道的径向截面呈圆形或矩形，相应地，镀膜材料放置槽的开口呈圆形或矩形。

所述导流通道的轴向截面呈弧形环状，末端开口连接有喇叭状的扩散部。通过该喇叭状的扩散部，可进一步保证工件上的镀膜均匀性。

所述蒸发源安装于镀膜室内或镀膜室外；