[实用新型]一种具有热回收功能的基片加工烧结炉

权利要求书

1.一种具有热回收功能的基片加工烧结炉，包括圆柱烧炉(1)，其特征在于：所述圆柱烧炉(1)的正面固定安装有调节面板(2)，所述圆柱烧炉(1)的侧面固定安装有连接管(5)，所述连接管(5)远离圆柱烧炉(1)一侧固定安装有控制柜(4)，所述控制柜(4)的顶部固定套接有净烟管道(3)。

2.根据权利要求1所述的一种具有热回收功能的基片加工烧结炉，其特征在于：所述圆柱烧炉(1)的内部固定安装有热回收装置(11)，所述热回收装置(11)的内部固定安装有热管道(110)，所述热管道(110)的内壁固定安装有毛细纤维(111)，所述毛细纤维(111)内部的一侧固定安装冷凝层(112)，所述冷凝层(112)的侧面固定安装有绝热层(113)，所述绝热层(113)远离冷凝层(112)的一侧固定安装有蒸发层(114)。

3.根据权利要求1所述的一种具有热回收功能的基片加工烧结炉，其特征在于：所述连接管(5)的内部固定安装有过滤层(51)，所述过滤层(51)的另一端固定连接有湿润除烟层(52)，所述湿润除烟层(52)的外侧固定安装在控制柜(4)的内部。

4.根据权利要求3所述的一种具有热回收功能的基片加工烧结炉，其特征在于：所述湿润除烟层(52)内部一侧的顶部固定安装有排水管(521)，所述排水管(521)的底部固定安装有喷嘴(522)，所述排水管(521)的一侧固定安装有静电层(523)，所述静电层(523)的另一侧固定安装有吸电层(524)，所述吸电层(524)远离静电层(523)的一侧固定安装有高级过滤网(525)。

5.根据权利要求1所述的一种具有热回收功能的基片加工烧结炉，其特征在于：所述圆柱烧炉(1)的内部一侧固定安装有蓄热转轮(12)，所述蓄热转轮(12)的外侧固定安装有转轮外壳(121)，所述转轮外壳(121)的内部固定安装有蓄热芯体(122)。

6.根据权利要求5所述的一种具有热回收功能的基片加工烧结炉，其特征在于：所述蓄热芯体(122)的侧面固定开设有蜂窝孔(123)，所述蜂窝孔(123)的外侧固定安装有蓄热体(124)。

7.根据权利要求1所述的一种具有热回收功能的基片加工烧结炉，其特征在于：所述圆柱烧炉(1)的底部固定安装有动力电机(13)，所述动力电机(13)的侧面设置有支撑柱(14)，所述支撑柱(14)的底部固定安装有护垫(15)。