[实用新型]一种MWT半片5*6GPS真空吸盘设备有效
申请号: | 202022891179.8 | 申请日: | 2020-12-02 |
公开(公告)号: | CN213340333U | 公开(公告)日: | 2021-06-01 |
发明(设计)人: | 商其华;周浩;孙明亮;吴仕梁;张凤鸣 | 申请(专利权)人: | 江苏日托光伏科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L31/18 |
代理公司: | 南京乐羽知行专利代理事务所(普通合伙) 32326 | 代理人: | 李玉平 |
地址: | 214028 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 mwt gps 真空 吸盘 设备 | ||
1.一种MWT半片5*6GPS真空吸盘设备,其特征在于:包括吸盘,多个腔室,以及抽真空单元;所述腔室的一端和吸盘气密封连接,另一端和抽真空单元连接;所述吸盘上设有多个用于吸附GPS材料的吸附通孔;所述吸附通孔与其中一个腔室空气连通;所述吸盘上设有多个用于罩在GPS材料上的导电胶的避让孔;所述避让孔设置在朝向GPS材料的吸盘面上;所述避让孔与GPS材料上的导电胶位置一一对应;所述避让孔的孔径大于GPS材料上的导电胶的直径;所述避让孔的深度小于吸盘厚度,且与腔室不连通。
2.根据权利要求1所述的MWT半片5*6GPS真空吸盘设备,其特征在于:所述避让孔的孔深为1.4-1.6mm。
3.根据权利要求1所述的MWT半片5*6GPS真空吸盘设备,其特征在于:所述避让孔包括圆形小孔和长条孔;所述长条孔是用于兼容整片电池使用吸盘设备的避让孔;所述长条孔隔行设置,两行圆形小孔之间设有一行长条孔,除固定口位置外同一行的两个相邻的长条孔间隔三个吸附通孔;所述长条孔的孔长等于间隔一个圆形小孔的两个圆形小孔的间距。
4.根据权利要求1所述的MWT半片5*6GPS真空吸盘设备,其特征在于:所述吸盘上设有多个固定口,用于使吸盘分别避开料台上固定GPS材料的多个顶针。
5.根据权利要求1所述的MWT半片5*6GPS真空吸盘设备,其特征在于:所述腔室的数量为三个,三个腔室相互独立,腔室与腔室之间通过加强筋分隔开。
6.根据权利要求1所述的MWT半片5*6GPS真空吸盘设备,其特征在于:所述抽真空单元用于对腔室抽真空,且包括独立控制每个腔室的气阀。
7.根据权利要求1所述的MWT半片5*6GPS真空吸盘设备,其特征在于:还包括上盖板和中间框;所述上盖板和吸盘通过中间框气密封连接,中间框的一面与吸盘的四周气密封连接,中间框的另一面与上盖板气密封连接;所述上盖板和抽真空单元连接;所述上盖板上设有多条加强筋,通过加强筋使上盖板与吸盘之间形成多个独立的腔室。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造