[实用新型]用于二维材料生长设备静态混合器有效
申请号: | 202022807991.8 | 申请日: | 2020-11-27 |
公开(公告)号: | CN214287619U | 公开(公告)日: | 2021-09-28 |
发明(设计)人: | 于葛亮;康斯坦丁·诺沃舍洛夫;孙正乾;杨金东;唐阳;王杨华 | 申请(专利权)人: | 无锡费曼科技有限公司;无锡墨诺半导体科技有限公司 |
主分类号: | B01F5/06 | 分类号: | B01F5/06;B01F15/02;B01F3/02 |
代理公司: | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 | 代理人: | 曹祖良;涂三民 |
地址: | 214174 江苏省无锡市惠*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 二维 材料 生长 设备 静态 混合器 | ||
本实用新型涉及一种用于二维材料生长设备静态混合器,它包括混合罐、进气管、出气接口、第一混气挡板与第二混气挡板;在混合罐的底面板上固定有若干进气管,在混合罐的顶面板上固定有出气接口,在底面板与顶面板之间的混合罐的内壁上固定有若干块呈间隔设置在第二混气挡板,在相邻两块第二混气挡板之间的混合罐的内壁上固定有一块第一混气挡板,在第一混气挡板的中部位置开设有若干个第一混气孔,在所述第二混气挡板的整个板面上开设有开设有第二混气孔,第二混气孔的孔径小于第一混气孔的孔径。本实用新型稳定可靠、混气效果好、能大幅度提高生长效率和成功率。
技术领域
本实用新型属于二维材料生长设备技术领域,具体地说是一种用于二维材料生长设备静态混合器。
背景技术
现有二维材料生长设备没有气体混合器,气体直接进入生长器中,让其自然扩散、碰撞混合,气相中浓度相差较大,混合不均匀。影响了生长效率,严重的甚至导致生长失败。
发明内容
本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足,提供一种能够使多种气体混合更加均匀、提高生成效率和成功率的用于二维材料生长设备静态混合器。
按照本实用新型提供的技术方案,所述用于二维材料生长设备静态混合器,它包括混合罐、进气管、出气接口、第一混气挡板与第二混气挡板;在混合罐的底面板上固定有若干进气管,在混合罐的顶面板上固定有出气接口,在底面板与顶面板之间的混合罐的内壁上固定有若干块呈间隔设置在第二混气挡板,在相邻两块第二混气挡板之间的混合罐的内壁上固定有一块第一混气挡板,在第一混气挡板的中部位置开设有若干个第一混气孔,在所述第二混气挡板的整个板面上开设有开设有第二混气孔,第二混气孔的孔径小于第一混气孔的孔径。
作为优选,所述第一混气挡板上的所有第一混气孔的截面积之和大于与其相邻的第二混气挡板上的所有第二混气孔的截面积之和。
作为优选,相邻的第二混气挡板与第一混气挡板呈平行设置。
作为优选,所述第二混气孔的孔间距大于第一混气孔的孔间距。
本实用新型结构简单、安装方便且结构便宜。本实用新型稳定可靠、混气效果好、能大幅度提高生长效率和成功率。
附图说明
图1是本实用新型的主视图。
图2是本实用新型的俯视图。
图3是本实用新型中第一混气挡板的结构示意图。
图4是本实用新型中第二混气挡板的结构示意图。
具体实施方式
下面结合具体实施例对本实用新型作进一步说明。
一种用于二维材料生长设备静态混合器,如图1至图4所示,它包括混合罐1、进气管2、出气接口3、第一混气挡板4与第二混气挡板5;在混合罐1的底面板上固定有两根进气管2,在混合罐1的顶面板上固定有出气接口3,在底面板与顶面板之间的混合罐1的内壁上固定有两块呈间隔设置在第二混气挡板5,在两块第二混气挡板5之间的混合罐1的内壁上固定有一块第一混气挡板4,在第一混气挡板4的中部位置开设有若干个第一混气孔41,在所述第二混气挡板5的整个板面上开设有开设有第二混气孔51,第二混气孔51的孔径小于第一混气孔41的孔径。
相邻的第二混气挡板5与第一混气挡板4呈平行设置。
所述第二混气孔51的孔间距大于第一混气孔41的孔间距。
本实用新型中,混合罐1的底面板与位于下方的第二混气挡板5之间形成第一混合腔体,位于下方的第二混气挡板5与第一混气挡板4之间形成第二混合腔体,第一混气挡板4与位于上方的第二混气挡板5之间形成第三混合腔体,位于上方的第二混气挡板5与混合罐1的顶面板之间形成第四混合腔体。
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