[实用新型]用于二维材料生长设备静态混合器有效
申请号: | 202022807991.8 | 申请日: | 2020-11-27 |
公开(公告)号: | CN214287619U | 公开(公告)日: | 2021-09-28 |
发明(设计)人: | 于葛亮;康斯坦丁·诺沃舍洛夫;孙正乾;杨金东;唐阳;王杨华 | 申请(专利权)人: | 无锡费曼科技有限公司;无锡墨诺半导体科技有限公司 |
主分类号: | B01F5/06 | 分类号: | B01F5/06;B01F15/02;B01F3/02 |
代理公司: | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 | 代理人: | 曹祖良;涂三民 |
地址: | 214174 江苏省无锡市惠*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 二维 材料 生长 设备 静态 混合器 | ||
1.一种用于二维材料生长设备静态混合器,其特征是:它包括混合罐(1)、进气管(2)、出气接口(3)、第一混气挡板(4)与第二混气挡板(5);在混合罐(1)的底面板上固定有若干进气管(2),在混合罐(1)的顶面板上固定有出气接口(3),在底面板与顶面板之间的混合罐(1)的内壁上固定有若干块呈间隔设置在第二混气挡板(5),在相邻两块第二混气挡板(5)之间的混合罐(1)的内壁上固定有一块第一混气挡板(4),在第一混气挡板(4)的中部位置开设有若干个第一混气孔(41),在所述第二混气挡板(5)的整个板面上开设有开设有第二混气孔(51),第二混气孔(51)的孔径小于第一混气孔(41)的孔径。
2.根据权利要求1所述的用于二维材料生长设备静态混合器,其特征是:所述第一混气挡板(4)上的所有第一混气孔(41)的截面积之和大于与其相邻的第二混气挡板(5)上的所有第二混气孔(51)的截面积之和。
3.根据权利要求1或2所述的用于二维材料生长设备静态混合器,其特征是:相邻的第二混气挡板(5)与第一混气挡板(4)呈平行设置。
4.根据权利要求1所述的用于二维材料生长设备静态混合器,其特征是:所述第二混气孔(51)的孔间距大于第一混气孔(41)的孔间距。
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