[实用新型]一种具有倾斜及旋转喷丝板的洁净机台

权利要求书

1.一种具有倾斜及旋转喷丝板的洁净机台，其特征在于是包含：

基座；

龙门结构；

第一洁净承载元件；

第二承载元件；

前后推动元件，其中该前后推动元件是装设在该基座上，推动该龙门结构前后往复运动；

左右推动元件，其中该左右推动元件是装设在该龙门结构上，推动该第一承载元件左右往复运动；

上下推动元件，其中该上下推动元件是装设在该第一承载元件上，推动该第二承载元件上下往复运动；

洁净总成，其中该洁净总成是装设在该第二承载元件上；

喷丝板承载架，其中该喷丝板承载架是装设在该基座上，用以承载喷丝板，其中该喷丝板承载架是更包含喷丝板承载环、喷丝板光源、承载环倾斜推动元件与喷丝板旋转推动元件，其中该喷丝板承载环是装设在该喷丝板承载架上，是用以承载喷丝板，其中该喷丝板光源是装设在喷丝板承载架上，是用以提供该洁净总成光源，其中该承载环倾斜推动元件是装设在该喷丝板承载架上，借由该承载环倾斜推动元件推动该喷丝板承载环与该基座形成指定角度，其中该喷丝板旋转推动元件是装设在该承载元件上，借由喷丝板旋转推动元件转动该喷丝板与该喷丝板承载环同水平面转动；与

控制装置，其中该控制装置是电性连接该前后推动元件、该左右推动元件、该上下推动元件、该洁净总成、该喷丝板承载架，用以控制该前后推动元件、该左右推动元件、该上下推动元件、该洁净总成、与该喷丝板承载架依指示动作。

2.根据权利要求1所述的一种具有倾斜及旋转喷丝板的洁净机台，其特征在于，其中该洁净总成更包含检测单元与清洁单元。

3.根据权利要求2所述的一种具有倾斜及旋转喷丝板的洁净机台，其特征在于，其中该检测单元是更包含该具有变焦镜头的显微镜，用以寻找喷丝板的纺丝孔，并确认纺丝孔洁净状况时的视野与包含CCD相机，借以将该具有变焦镜头的显微镜头所侧录的影像传送至电脑，方便使用者监视整个检查及清洁制程。

4.根据权利要求2所述的一种具有倾斜及旋转喷丝板的洁净机台，其特征在于，其中该洁净总成上更包含该清洁单元的喷气枪或针状元件，当利用该具有变焦镜头的显微镜找到有异物的喷丝板纺丝孔部位后，即可利用该清洁单元的该喷气枪或针状元件来进行清洁异物的动作。

5.根据权利要求1所述的一种具有倾斜及旋转喷丝板的洁净机台，其特征在于，其中该基座是更包含多个承载盘固定架，用以架设该喷丝板承载架。