[实用新型]一种芯片批量测试吸盘

权利要求书

1.一种芯片批量测试吸盘，其特征在于，包括吸盘底座和吸盘顶板，所述吸盘底座的顶面上设置有若干个吸气槽，所述吸气槽通过气阀与气泵连通，所述吸盘顶板固定在所述吸盘的上方，与吸盘底座密封连接，所述吸盘顶板的上表面均匀的设置有若干个用于收纳芯片的收纳槽，所述收纳槽的底面上设置有与所述吸气槽连通的第一通气孔。

2.如权利要求1所述的一种芯片批量测试吸盘，其特征在于，所述吸盘底座上设置有开口向上的定位槽，所述吸气槽位于所述定位槽的底面上，所述吸盘顶板的底部设置有与所述定位槽配合的定位块，所述吸盘顶板与所述吸盘底座通过螺丝固定连接，使得所述定位块伸进所述定位槽中。

3.如权利要求2所述的一种芯片批量测试吸盘，其特征在于，所述定位槽的边缘位置设置有密封槽，所述密封槽内设置有密封圈，所述定位块的底面上设置有密封凸起，所述密封凸起伸进所述密封槽中并抵持所述密封圈。

4.如权利要求3所述的一种芯片批量测试吸盘，其特征在于，所述定位槽内设置有密封板，所述密封板位于所述定位块与所述吸气槽之间，所述密封板上设置有第二通气孔，所述第一通气孔通过所述第二通气孔与所述吸气槽连通。

5.如权利要求4所述的一种芯片批量测试吸盘，其特征在于，所述密封板与所述吸气槽之间还设置有密封垫，所述密封板通过所述密封垫与所述定位槽密封连接，所述密封垫上设置有与所述吸气槽相对应的通气槽。

6.如权利要求4所述的一种芯片批量测试吸盘，其特征在于，所述密封板的上表面设置有防呆凸起，所述定位块的底面上设置有与所述防呆凸起相配合的防呆槽。