[实用新型]一种高精度平面研磨机

说明书

本实用新型涉及机械加工设备技术领域，具体涉及一种高精度平面研磨机；采用的技术方案是：一种高精度平面研磨机，包括机体，所述机体上设有主轴组件、Z轴组件、回转工作台，所述主轴组件由Z轴组件驱动竖向移动，所述主轴组件下方连接有研具盘，所述机体上还设有X轴组件，所述X轴组件用于驱动回转工作台横向移动。本实用新型能够自动化的对盘类零件进行研磨以替代人工研磨，极大了减轻了操作人员的劳动强度和提高了研磨质量，且研磨速度高，极大的提高了研磨效率，可以达到极高的形位精度和表面粗糙度。

技术领域

本实用新型涉及机械加工设备技术领域，具体涉及一种高精度平面研磨机。

背景技术

在超精密加工领域，精密研磨常作为高精度零件加工的最终加工手段。目前，对较大型和重型的盘类零件仍采用人工研磨的方法。而人工研磨过程常采用三块研具或工件互研的方式，人工研磨过程不仅需要研磨工件，而且需要其他三块研具，研磨工作劳动强度大；另外人工研磨研具的转速较慢，并且工件的表面硬度大，人工研磨工件去量慢；因此现有对较大型和重型盘类零件研磨时，研磨时间长，劳动强度大。

实用新型内容

针对上述现有对较大型和重型盘类零件研磨时，研磨时间长，劳动强度大的技术问题；本实用新型提供了一种高精度平面研磨机，能够自动化的对盘类零件进行研磨以替代人工研磨，极大了减轻了操作人员的劳动强度和提高了研磨质量，且研磨速度高，极大的提高了研磨效率。

本实用新型通过下述技术方案实现：

一种高精度平面研磨机，包括机体，所述机体上设有主轴组件、Z轴组件、回转工作台，所述主轴组件由Z轴组件驱动竖向移动，所述主轴组件下方连接有研具盘，所述机体上还设有X轴组件，所述X轴组件用于驱动回转工作台横向移动。

本实用新型在使用时，将待研磨工件固定在回转工作台上、将研具固定在研具盘上，以通过Z轴组件驱动主轴组件上下移动，实现研具的上下定位；主轴组件的主轴驱动研具盘转动从而带动研具转动，并通过回转工作台带动待研磨工件转动，即研磨盘和工件分别绕各自中心轴旋转。同时由X轴带动工件进行直线运动，实现行星式研磨轨迹的偏心距偏置，构成了研磨加工轨迹。因此，本实用新型能够自动化的对盘类零件进行研磨以替代人工研磨，极大了减轻了操作人员的劳动强度和提高了研磨质量，且研磨速度高，极大的提高了研磨效率，可以达到极高的形位精度和表面粗糙度。

为确保回转工作台运行的直线度，所述X轴组件采用高精度导轨支撑。

具体而言，所述高精度导轨为气体静压导轨、液体静压导轨、线性导轨中的一种。

为保证回转工作台运转时的平面度，所述回转工作台采用高精度轴承支撑，从而使得回转工作台不仅是研磨平台，也可作为在线检测的高精度平台，不需要对研磨工件进行反复搬运和拆装，能够缩短研磨过程中的检测时长，进一步提高研磨效率。

具体而言，所述高精度轴承为气体静压支撑、液体静压支撑、密珠滑套中的一种。

具体而言，所述回转工作台采用力矩电机驱动，所述力矩电机电连接有旋转编码器，从而使得回转工作台具有角度定位功能，能够实现工件的局部修研。

优选的，所述研具盘通过连接部与主轴组件浮动连接，以防止快速研磨过程中工件的研具盘卡死，也实现了研磨轨迹的变位，能够确保研磨精度。

作为研具盘与主轴组件浮动连接的一个具体实施方式，所述连接部与主轴组件固定连接，所述连接部或研具盘上设有供连接销穿过的长条孔，所述长条孔竖向设置，以通过连接销和长条孔的配合实现连接部的浮动连接。

作为连接部与研具盘传动的一个具体实施方式，所述连接部和研具盘通过齿形传动。

本实用新型的有益效果：