[实用新型]一种高精度平面研磨机

权利要求书

1.一种高精度平面研磨机，包括机体(1)，所述机体(1)上设有主轴组件(2)、Z轴组件(3)、回转工作台(4)，所述主轴组件(2)由Z轴组件(3)驱动竖向移动，所述主轴组件(2)下方连接有研具盘(5)，其特征在于，所述机体(1)上还设有X轴组件(6)，所述X轴组件(6)用于驱动回转工作台(4)横向移动。

2.根据权利要求1所述的高精度平面研磨机，其特征在于，所述X轴组件(6)采用高精度导轨支撑。

3.根据权利要求2所述的高精度平面研磨机，其特征在于，所述高精度导轨为气体静压导轨、液体静压导轨、线性导轨中的一种。

4.根据权利要求1所述的高精度平面研磨机，其特征在于，所述回转工作台(4)采用高精度轴承支撑。

5.根据权利要求4所述的高精度平面研磨机，其特征在于，所述高精度轴承为气体静压支撑、液体静压支撑、密珠滑套中的一种。

6.根据权利要求1所述的高精度平面研磨机，其特征在于，所述回转工作台(4)采用力矩电机驱动，所述力矩电机电连接有旋转编码器。

7.根据权利要求1所述的高精度平面研磨机，其特征在于，所述研具盘(5)通过连接部(7)与主轴组件(2)浮动连接。

8.根据权利要求7所述的高精度平面研磨机，其特征在于，所述连接部(7)与主轴组件(2)固定连接，所述连接部(7)或研具盘(5)上设有供连接销穿过的长条孔，所述长条孔竖向设置，以通过连接销和长条孔的配合实现连接部(7)的浮动连接。

9.根据权利要求7所述的高精度平面研磨机，其特征在于，所述连接部(7)和研具盘(5)通过齿形传动。