[实用新型]改进型刷片机装置

权利要求书

1.一种改进型刷片机装置，包括晶片(1)、吸附装置(2)以及刷片装置(3)，其特征在于，吸附装置(2)和刷片装置(3)为分体结构，吸附装置(2)位于刷片装置(3)一侧，吸附装置(2)包括竖向设置的悬臂(21)，悬臂(21)内缘设置有伸缩气缸(22)，伸缩气缸(22)的端部铰接有旋转臂(23)，旋转臂(23)在伸缩气缸(22)带动下沿铰接处旋转90°从而靠近刷片装置(3)；旋转臂(23)末端安装有吸盘组件(24)，吸盘组件(24)包括吸附盘(242)以及沿吸附盘(242)周缘设置的抹面机构(241)，晶片(1)与抹面机构(241)均与晶片(1)表面相接触。

2.根据权利要求1所述的改进型刷片机装置，其特征在于，所述抹面机构(241)与吸附盘(242)之间设置有压缩弹簧，抹面机构(241)清除晶片(1)表面浮尘后紧密贴合于晶片(1)表面，压缩弹簧处于压缩状态。

3.根据权利要求1所述的改进型刷片机装置，其特征在于，所述吸附装置(2)的刷头呈竖向放置，刷头通过水平方向移动与晶片(1)贴合。

4.根据权利要求1所述的改进型刷片机装置，其特征在于，所述刷片装置(3)下方设置有吸尘管道。