[实用新型]声换能器和麦克风组件

权利要求书

1.一种声换能器，其特征在于，所述声换能器包括：

至少部分真空密封腔室，所述至少部分真空密封腔室部分地由第一振膜限定；

背板，所述背板至少部分地设置在所述至少部分真空密封腔室内，其中，所述第一振膜能响应于声压而相对于所述背板移动；以及

压力传感器，所述压力传感器联接在所述背板或所述第一振膜上，并且被配置成感测所述至少部分真空密封腔室内的压力。

2.根据权利要求1所述的声换能器，其特征在于，所述至少部分真空密封腔室还由与所述第一振膜间隔开的第二振膜限定。

3.根据权利要求2所述的声换能器，其特征在于，所述声换能器还包括第一端子和第二端子，其中，所述第一端子电联接至所述背板或所述第一振膜的第一部分，所述第二端子电联接至所述背板或所述第一振膜的第二部分。

4.根据权利要求3所述的声换能器，其特征在于，所述压力传感器包括形成在所述背板或所述第一振膜上的皮拉尼压力计。

5.根据权利要求4所述的声换能器，其特征在于，所述皮拉尼压力计包括微梁电阻器，所述微梁电阻器电联接至所述第一端子和所述第二端子，其中，所述微梁电阻器相对于所述背板或所述第一振膜悬置。

6.根据权利要求5所述的声换能器，其特征在于，所述微梁电阻器被配置成将偏置电流从所述第一端子传送至所述第二端子。

7.根据权利要求3所述的声换能器，其特征在于，所述压力传感器包括联接至所述背板或所述第一振膜的集成谐振器。

8.根据权利要求7所述的声换能器，其特征在于，所述集成谐振器包括弹簧和谐振构件，其中，所述弹簧连接至所述背板或所述第一振膜并且连接至所述谐振构件的边缘，其中，所述弹簧将所述谐振构件相对于所述背板或所述第一振膜悬置。

9.根据权利要求8所述的声换能器，其特征在于，所述弹簧包括：

第一弹簧，所述第一弹簧将所述背板或所述第一振膜与所述谐振构件的第一部分互连；

第二弹簧，所述第二弹簧将所述背板或所述第一振膜与所述谐振构件的第二部分互连；以及

第三弹簧，所述第三弹簧将所述背板或所述第一振膜与所述谐振构件的第三部分互连。

10.根据权利要求9所述的声换能器，其特征在于，所述背板限定一开口，其中，所述谐振构件悬置在所述开口内。

11.一种麦克风组件，其特征在于，所述麦克风组件包括：

壳体；

声换能器，所述声换能器设置在所述壳体内，并且所述声换能器包括：

至少部分真空密封腔室，所述至少部分真空密封腔室部分地由第一振膜限定；

背板，所述背板至少部分地设置在所述至少部分真空密封腔室内，其中，所述第一振膜能够响应于声压而相对于所述背板移动；以及

压力传感器，所述压力传感器联接在所述背板上并且位于所述至少部分真空密封腔室内；以及

集成电路，所述集成电路设置在所述壳体内，所述集成电路包括压力感测电路，所述压力感测电路连接至所述压力传感器并且被配置成对来自所述压力传感器的电信号进行处理以生成指示压力的输出数据。

12.根据权利要求11所述的麦克风组件，其特征在于，所述至少部分真空密封腔室还由与所述第一振膜间隔开的第二振膜限定，其中，所述背板限定了穿过所述背板的至少一个孔。

13.根据权利要求12所述的麦克风组件，其特征在于，所述压力传感器包括联接至所述背板的皮拉尼压力计，所述皮拉尼压力计包括微梁电阻器、形成在所述背板上的第一焊盘以及形成在所述背板上的第二焊盘，其中，所述微梁电阻器连接至所述第一焊盘和所述第二焊盘并且相对于所述背板悬置。