[实用新型]扩散泵泵口法兰有效

专利信息
申请号: 202022575067.1 申请日: 2020-11-10
公开(公告)号: CN213451053U 公开(公告)日: 2021-06-15
发明(设计)人: 刘春雷;张继辉;孙会民 申请(专利权)人: 沈阳蓝菱真空设备制造有限公司
主分类号: F04F9/00 分类号: F04F9/00
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地址: 110033 辽宁*** 国省代码: 辽宁;21
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搜索关键词: 扩散 泵泵口 法兰
【说明书】:

实用新型提供扩散泵泵口法兰,包括:下法兰,其包括第一通孔;下法兰上部的外壁设置有第一螺纹;上法兰,其包括上部固定件、下部连接件以及贯通上部固定件的第二通孔;上部固定件下部的外壁上设置有第二螺纹,下部连接件的内壁上开设有与第一螺纹和第二螺纹相匹配的第三螺纹。本实用新型所述的扩散泵泵口法兰具有上法兰与下法兰便于连接固定,节省连接时间,生成成本低的优点。

技术领域

本实用新型涉及真空泵领域,且特别涉及一种扩散泵泵口法兰。

背景技术

真空扩散泵是目前获得高真空的最广泛、最主要的工具之一,扩散泵主要由泵体、泵油、泵芯、蒸发系统、冷却系统、喷射系统和控制系统等部分组成,在前级真空泵所形成的低真空条件下,蒸发系统使泵油沸腾蒸发,生成的蒸气以极高速度通过喷射系统喷出,使泵内上部的气体分子扩散到蒸气中,通过冷却系统使油蒸气在泵下部被冷凝,释放出的气体分子,即被前级泵抽走,而冷凝后的泵油又返回到蒸发系统中重新被加热,如此循环工作达到抽气的目的。

扩散泵泵口法兰是扩散泵的重要组成部分,直接关系到生产效率。

如何提供一种便于安装,密封性好的扩散泵泵口法兰,是本领域技术人员亟待解决的技术问题。

实用新型内容

为了解决至少部分上述技术问题,本实用新型提供一种扩散泵泵口法兰,其包括:

下法兰,其包括第一通孔;所述下法兰上部的外壁设置有第一螺纹;

上法兰,其包括上部固定件、下部连接件以及贯通所述上部固定件的第二通孔;所述第二通孔与所述第一通孔相匹配;所述上部固定件下部的外壁上设置有第二螺纹,所述下部连接件为具有第三通孔的柱体,所述下部连接件的内壁上开设有与所述第一螺纹和所述第二螺纹相匹配的第三螺纹;

其中,所述下法兰的外壁上设置有第一凸块;所述下部连接件的外壁上设置有与所述第一凸块相匹配的第二凸块。

在某些实施方式中,所述的扩散泵泵口法兰中,该泵口法兰还包括设置在所述上部固定件和所述下部连接件之间的第一密封环,和设置在所述下部连接件和所述下法兰之间的第二密封环。

在某些实施方式中,所述的扩散泵泵口法兰中,所述第一密封环和所述第二密封环均采用橡胶材料。

在某些实施方式中,所述的扩散泵泵口法兰中,所述下部连接件的外壁上设置有把手结构。

在某些实施方式中,所述的扩散泵泵口法兰中,所述下法兰一体成型生产而成,所述上部固定件一体成型生产而成,所述下部连接件一体成型生产而成。

在某些实施方式中,所述的扩散泵泵口法兰中,该泵口法兰还包括设置在所述下法兰外壁上的第一固定环。

在某些实施方式中,所述的扩散泵泵口法兰中,该泵口法兰还包括设置在所述下部连接件上的第二固定环。

在某些实施方式中,所述的扩散泵泵口法兰中,所述第一固定环上的圆周上开设有多个第一固定孔;所述第儿固定环上的圆周上开设有多个与所述第一固定孔相匹配的第二固定孔。

本实用新型的有益效果如下:

1.本实用新型所述的扩散泵泵口法兰,将第一凸块与第二凸块对应设置,下部连接件的第三螺纹便于下法兰上的第一螺纹对应,安装时,只需要转动下部连接件,将下部连接件同时与上部固定件和下法兰进行螺纹连接,便完成上法兰与下法兰的连接,连接过程方便、快捷。

2.本实用新型所述的扩散泵泵口法兰,下部连接件不受其他外力的影响,安装过程节省人力。

3.本实用新型所述的扩散泵泵口法兰,结构简单,生产成本低。

附图说明

图1为本实用新型所述的扩散泵泵口法兰的结构示意图;

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  • 2020-11-25 - 2021-08-20 - F04F9/00
  • 本实用新型涉及扩散泵辅件技术领域,具体地说,涉及一种扩散泵底加热板结构。包括加热板和用于将加热板紧固在扩散泵底部的紧固装置,所述加热板与扩散泵的底部之间设置有石墨纸。本实用新型所述加热板和扩散泵的泵底中间垫石墨纸,可有效填充加热板和扩散泵底的间隙,保证有效传热,且石墨纸有可压缩性,保证重复加热冷却后加热板和扩散泵底始终有效接触传热,防止加热板因温度过高而损毁,同时,采用不锈钢或耐热钢制作的紧固装置,线涨系数小,能有效避免螺栓因加热线涨造成的加热板与泵底接触不良,从而避免加热板变形、损坏,以保证扩散泵长期稳定运行。
  • 可调控加热功率的真空扩散泵-202110518181.7
  • 李重河;张学贤;冯齐胜;段宝华;杨宇辰;毛露;陈光耀;王世华;鲁雄刚 - 上海大学
  • 2021-05-12 - 2021-08-10 - F04F9/00
  • 本发明公开了一种可调控加热功率的真空油扩散泵,包括扩散泵与扩散泵相连接的高功率瓷管可调绕线电阻装置,瓷管可调绕线电阻装置包括变压调节器、立式波纹绕制电阻、表面涂敷绝缘树脂漆、固定元件、接线端子;将所述瓷管可调绕线电阻装置与扩散泵加热元件相连接。本发明的目的在于提供了一种可调控功率的真空扩散泵。设计实用、新颖,增加了高功率瓷管可调绕线电阻外部装置,可实现扩散泵的快速启动,正常工作、高真空状态三档工作状态,能够根据实际情况控制加热元件的加热功率,提高真空油扩散泵的抽气效率以及极限真空度,操作简单,实用性强,利用推广。
  • 扩散泵-202022578598.6
  • 孙会民;张继辉;刘春雷 - 沈阳蓝菱真空设备制造有限公司
  • 2020-11-10 - 2021-06-29 - F04F9/00
  • 本实用新型提供一种扩散泵,包括:壳体;冷却装置;泵芯,在泵芯的不同高度上开设有多个喷嘴;喷嘴与泵芯之间的呈40度~70度夹角;喷嘴的外壁上开设有沿喷嘴长度方向的滑槽;转动组件,包括通过滑块设置在滑槽上的连接件和设置在连接件上的叶片;加热装置。本实用新型所述的扩散泵具有喷嘴喷射出的气流扩散性好,扩散泵的抽吸力和极限真空度好的优点。
  • 扩散泵泵口法兰-202022575067.1
  • 刘春雷;张继辉;孙会民 - 沈阳蓝菱真空设备制造有限公司
  • 2020-11-10 - 2021-06-15 - F04F9/00
  • 本实用新型提供扩散泵泵口法兰,包括:下法兰,其包括第一通孔;下法兰上部的外壁设置有第一螺纹;上法兰,其包括上部固定件、下部连接件以及贯通上部固定件的第二通孔;上部固定件下部的外壁上设置有第二螺纹,下部连接件的内壁上开设有与第一螺纹和第二螺纹相匹配的第三螺纹。本实用新型所述的扩散泵泵口法兰具有上法兰与下法兰便于连接固定,节省连接时间,生成成本低的优点。
  • 扩散泵降温冷却装置-202022574411.5
  • 张继辉;刘春雷;孙会民 - 沈阳蓝菱真空设备制造有限公司
  • 2020-11-10 - 2021-06-11 - F04F9/00
  • 本实用新型提供一种扩散泵降温冷却装置,包括:泵体,其为凸腔结构,所述泵体为白钢材质,所述泵体包括带有中空的油腔,进气口和出气口的外罩,设置在油腔底部的加热装置及设置在加热装置上方泵芯,泵芯上端设有伞形喷嘴;进水管路,其固定设置在所述泵体上端;排水管路,其固定设置在所述泵体下端;冷却水管,其为矩形的白钢管,呈螺旋型缠绕在所述泵体的外壁上,所述冷却水管一端与所述进水管路连接,另一端与所述排水管路连接。本实用新型泵体为白钢材质,替代了碳钢泵壳,白钢的密度要优于Q235碳钢的密度,减小了泵壳的放气量,提高了真空抽速。
  • 一种扩散泵泵芯-202021762551.9
  • 瞿建强 - 江阴市光科光电精密设备有限公司
  • 2020-08-21 - 2021-06-08 - F04F9/00
  • 本实用新型公开了一种扩散泵泵芯,包括位于中部的泵芯体,泵芯体上端设置顶喷嘴伞盖,泵芯体的外表面由上至下设有若干个喷嘴伞盖,相邻喷嘴伞盖之间设有包围在泵芯体外的分流导流腔;顶喷嘴伞盖通过连接杆与最下方喷嘴伞盖处的法兰相连,法兰下固定连接设置保温罩,保温罩底端固定连接底座油盘,最下方喷嘴伞盖处的法兰下连接有用于降低返油率的挡流圈。本实用新型能够控制返油率,在提高抽气量增加抽气效率的同时还控制了返油率。
  • 一种带保温结构的镜片镀膜用扩散泵-202020955404.7
  • 欧阳晓勇;汤峰 - 江苏万新光学有限公司
  • 2020-05-30 - 2021-06-08 - F04F9/00
  • 一种带保温结构的镜片镀膜用扩散泵,由扩散泵主体(1)、保温套件(2)、电器控制系统(3)组成,所述的保温套件(2)套装在扩散泵主体(1)的下部,电器控制系统(3)安装在扩散泵主体(1)的中间靠上位置,保温套件(2)通过线缆与电器控制系统(3)连接在一起,温度传感器(1‑1)安装在扩散泵主体(1)靠下位置并处于保温套件(2)上方。本实用新型,通过并联的方式,在保温套件内设置三组独立的加热软管,可以根据镀膜所需的温度条件,控制扩散泵主体内的油温,以达到消除温度的不稳定可能影响设备的抽真空速率。提高产品一次成品率,降低损耗,提高工作效率。
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