[实用新型]长条形多孔显影液喷嘴装置有效
| 申请号： | 202022517444.6 | 申请日： | 2020-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN213457649U | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 陈力钧;吴越豪;顾飞 | 申请（专利权）人： | 上海华力集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 郭四华 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区中国（上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 条形 多孔 显影液 喷嘴 装置 | ||
1.一种长条形多孔显影液喷嘴装置，其特征在于，包括：第一支架，长条形分配管，多个显影液喷嘴，多个清洗气体喷嘴；
所述长条形分配管设置在所述第一支架上；
所述显影液喷嘴设置在所述长条形分配管的底部，显影液从所述长条形分配管均匀分配到各所述显影液喷嘴中喷出；
各所述清洗气体喷嘴对准各所述显影液喷嘴的侧面，清洗气体从所述清洗气体喷嘴喷出以去除所述显影液喷嘴的侧面上残留的所述显影液。
2.如权利要求1所述的长条形多孔显影液喷嘴装置，其特征在于：所述长条形多孔显影液喷嘴装置设置在显影单元装置中。
3.如权利要求2所述的长条形多孔显影液喷嘴装置，其特征在于：所述长条形分配管的长度大于晶圆的直径。
4.如权利要求3所述的长条形多孔显影液喷嘴装置，其特征在于：所述第一支架安装在机械手臂上，所述机械手臂带动所述长条形多孔显影液喷嘴装置移动。
5.如权利要求4所述的长条形多孔显影液喷嘴装置，其特征在于：所述长条形多孔显影液喷嘴装置具有起始位置；显影结束后，所述长条形多孔显影液喷嘴装置移动到所述的起始位置。
6.如权利要求5所述的长条形多孔显影液喷嘴装置，其特征在于：一个显影工艺中，一个所述长条形多孔显影液喷嘴装置依次对3片所述晶圆进行显影液喷洒。
7.如权利要求6所述的长条形多孔显影液喷嘴装置，其特征在于：一个所述显影单元装置中具有两个所述长条形多孔显影液喷嘴装置。
8.如权利要求1所述的长条形多孔显影液喷嘴装置，其特征在于：所述长条形分配管的高度边和宽度边形成一个矩形的正视面；
所述长条形分配管的高度边和长度边形成一个矩形的侧面。
9.如权利要求8所述的长条形多孔显影液喷嘴装置，其特征在于：所述显影液喷嘴呈三角形。
10.如权利要求8所述的长条形多孔显影液喷嘴装置，其特征在于：所述清洗气体喷嘴和所述长条形分配管的侧面垂直，且所述清洗气体喷嘴位于所述长条形分配管的侧面外侧。
11.如权利要求10所述的长条形多孔显影液喷嘴装置，其特征在于：所述清洗气体喷嘴通过清洗气体支架设置在所述第一支架上，清洗气体管设置在所述清洗气体支架上并将清洗气体输送到所述清洗气体喷嘴上。
12.如权利要求11所述的长条形多孔显影液喷嘴装置，其特征在于：所述清洗气体喷嘴呈扁平式吹扫结构。
13.如权利要求12所述的长条形多孔显影液喷嘴装置，其特征在于：各所述清洗气体喷嘴的长度相等。
14.如权利要求13所述的长条形多孔显影液喷嘴装置，其特征在于：各所述清洗气体喷嘴等对称设置在所述长条形分配管的两侧；所述长条形分配管的同一侧的所述清洗气体喷嘴等间距设置。
15.如权利要求1至14中任一权项所述的长条形多孔显影液喷嘴装置，其特征在于：所述清洗气体包括氮气或惰性气体。
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