[实用新型]一种压电薄膜驱动的MEMS扫描振镜

权利要求书

1.一种压电薄膜驱动的MEMS扫描振镜，包括衬底、硅微反射镜、压电薄膜驱动器，所述硅微反射镜及压电薄膜驱动器位于衬底上，其特征在于，还设有硅折叠弹簧及硅扭转梁，所述硅折叠弹簧连接压电薄膜驱动器和硅扭转梁，所述压电薄膜驱动器通过所述硅折叠弹簧及硅扭转梁驱动硅微反射镜实现角度扭转。

2.根据权利要求1所述的压电薄膜驱动的MEMS扫描振镜，其特征在于，所述压电薄膜驱动器，是在SOI材料的顶层硅上生长压电薄膜，再在压电薄膜上沉积金属电极后，进行硅深刻蚀形成。

3.根据权利要求2所述的压电薄膜驱动的MEMS扫描振镜，其特征在于，所述压电薄膜上层设有金属膜，且衬底与硅微反射镜之间设有二氧化硅层。

4.根据权利要求1所述的压电薄膜驱动的MEMS扫描振镜，其特征在于，所述压电薄膜驱动器为基于掺钪氮化铝薄膜或铌酸锂薄膜或钛酸钡薄膜的MEMS压电双材料驱动器。

5.根据权利要求4所述的压电薄膜驱动的MEMS扫描振镜，其特征在于，所述压电双材料驱动器，一种材料是经过压电材料极化的压电薄膜材料，且覆盖金属电极后作为驱动电极，另一种材料优选为硅材料，所述硅材料作为压电薄膜的下电极。

6.根据权利要求1所述的压电薄膜驱动的MEMS扫描振镜，其特征在于，所述压电薄膜驱动器为双向压电驱动器，其驱动方向是根据驱动电压的正负变化而变化。

7.根据权利要求1所述的压电薄膜驱动的MEMS扫描振镜，其特征在于，所述硅折叠弹簧，是由折叠的单晶硅线相互连接构成的柔性硅弹簧。

8.根据权利要求1所述的压电薄膜驱动的MEMS扫描振镜，其特征在于，压电薄膜驱动器的驱动电源优选采用电荷驱动电源。

9.根据权利要求1至8任一项所述的压电薄膜驱动的MEMS扫描振镜，其特征在于，还设有引线焊盘、空腔。