[实用新型]集成传感器和电子设备有效
| 申请号: | 202022416017.9 | 申请日: | 2020-10-27 |
| 公开(公告)号: | CN214495725U | 公开(公告)日: | 2021-10-26 |
| 发明(设计)人: | 方华斌;端木鲁玉 | 申请(专利权)人: | 歌尔微电子有限公司 |
| 主分类号: | B81B7/02 | 分类号: | B81B7/02;B81B7/00;H01L25/16;H01L23/31 |
| 代理公司: | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人: | 梁馨怡 |
| 地址: | 266100 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 集成 传感器 电子设备 | ||
1.一种集成传感器,其特征在于,所述集成传感器包括:
电控板,所述电控板具有第一表面和第二表面,所述电控板上设有传振孔;
拾振单元,所述拾振单元安装于所述第一表面,所述拾振单元用于拾取外界的骨振动信号;
传感器单元,所述传感器单元包括均安装于所述第二表面的ASIC芯片和传感器芯片,所述ASIC芯片与所述传感器芯片连接,所述传振孔连通所述传感器芯片的背腔与所述拾振单元;
电子设备用元件,所述电子设备用元件安装于所述第二表面;以及
封装结构,所述封装结构封装于所述ASIC芯片、所述传感器芯片及所述电子设备用元件外。
2.如权利要求1所述的集成传感器,其特征在于,所述封装结构包括封装层和一端敞口的封装壳体,所述封装壳体的敞口端安装于所述第二表面,以与所述电控板围合形成封装腔,所述ASIC芯片与所述传感器芯片位于所述封装腔内,所述封装层设于所述封装壳体与所述电子设备用元件外。
3.如权利要求1所述的集成传感器,其特征在于,所述封装结构包括一端敞口的封装壳体,所述封装壳体的敞口端安装于所述第二表面,以与所述电控板围合形成封装腔,所述ASIC芯片、所述传感器芯片及所述电子设备用元件位于所述封装腔内。
4.如权利要求1所述的集成传感器,其特征在于,所述封装结构包括盖体和设于所述第二表面的封装层,所述电子设备用元件位于所述封装层内,所述封装层具有与所述传振孔连通的屏蔽通孔,所述ASIC芯片与所述传感器芯片位于所述屏蔽通孔内,所述盖体封盖所述屏蔽通孔的远离所述电控板的一端的孔口。
5.如权利要求4所述的集成传感器,其特征在于,所述盖体设于所述封装层的背离所述电控板的表面,并覆盖所述屏蔽通孔,以封盖所述屏蔽通孔的远离所述电控板的一端的孔口;和/或,
所述屏蔽通孔在远离所述电控板的方向上呈扩口设置。
6.如权利要求1至5中任意一项所述的集成传感器,其特征在于,所述电子设备用元件包括阻容感元件和第三芯片中的至少一种。
7.如权利要求2或3所述的集成传感器,其特征在于,所述拾振单元包括一端敞口的拾振壳体、及设于所述拾振壳体内的弹性拾振件,所述拾振壳体的敞口端安装于所述第一表面,且所述传振孔位于所述拾振壳体的敞口的内侧。
8.如权利要求7所述的集成传感器,其特征在于,所述拾振单元还包括设置在所述弹性拾振件上的振动调节件。
9.如权利要求7所述的集成传感器,其特征在于,所述弹性拾振件为振膜;或者,
所述弹性拾振件包括设于所述封装壳体的壳壁的安装环、位于所述安装环内且与所述安装环间隔设置的拾振片、连接所述安装环与所述拾振片的连接臂、及设于所述安装环与所述拾振片之间的间隙内的弹性密封膜。
10.一种电子设备,其特征在于,包括如权利要求1至9中任意一项所述的集成传感器。
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