[实用新型]一种用于CVD涂层设备的反应腔体内压力动态平衡控制系统

说明书

本实用新型涉及金属切削刀具和工模具涂层技术领域，且公开了一种用于CVD涂层设备的反应腔体内压力动态平衡控制系统，包括反应腔体，所述反应腔体底部分别固定安装有进气口、第一压力变送器与出气口，所述出气口的一端固定连接有冷凝阱，通过机械压力表更换为压力变送器，压力值实时显示在控制电脑屏幕上，反应腔体的压力值的维持通过电动控制波纹管阀和反应腔体内的第一压力变送器配合，电动控制波纹管阀自动调节开合度大小来实现，而且整个过程完全自动控制，无需人为干涉，液环泵入口处安装有压力变送器，只有当液环真空泵入口的压力值比反应腔体内压力小的时候，才能打开气动球阀，这样可以避免液环泵内的NaOH液体倒灌到反应腔体内。

技术领域

本实用新型涉及金属切削刀具和工模具涂层技术领域，具体为一种用于CVD涂层设备的反应腔体内压力动态平衡控制系统。

背景技术

CVD是在其它材料(基材)的金属加工用工件例如模具、切削工具、耐磨损、耐腐蚀零件等的表面上成膜的方法，尤其是薄膜形成方法，化学气相沉积的特点是反应气体所含化合物的化学反应的进行，所期望的化学反应主要产物沉积在基材表面上并在那里形成涂层或者说覆膜，可能的反应副产物以气体形态出现并且必须从气体混合物中被除去以保证层膜性能，这通过排气管路来实现。经过涂层的切削刀具、工模具的使用寿命会大大提高，经过涂层的零部件更加耐腐蚀和耐磨损。

现有的常见的技术中一般为反应腔体内的压力测量通过机械式压力表读取，以及反应腔体内设定的压力值通过手动调节液环真空泵入口处的阀门开合大小来控制，但是这种技术中反应腔体内的压力测量通过机械压力表读取，需要人为查看压力表获知反应腔体内的实际压力，反应腔体内设定的压力值通过手动调节液环真空泵入口处的手动阀门开合大小来控制被液环真空泵抽走的气量来实现，因为各个工艺的各个步骤的反应腔体压力值都不同，所以需要人为反复多次操作来控制阀门的开关大小来达到所需的压力设定值，极大的增加了现场操作人员的工作量，同时也不利于工艺参数压力值的稳定控制。

实用新型内容

技术方案

为实现上述整个生产过程完全自动控制，无需人为干涉目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于CVD涂层设备的反应腔体内压力动态平衡控制系统，包括反应腔体，所述反应腔体底部分别固定安装有进气口、第一压力变送器与出气口，所述出气口的一端固定连接有冷凝阱，所述冷凝阱的一端固定安装有第一气动球阀，所述第一气动球阀的一端固定连接有电动控制波纹管阀，所述电动控制波纹管阀的一端固定连接有第二气动球阀，所述第二气动球阀的一端固定连接有液环真空泵，所述液环真空泵的一端固定安装有液环真空泵排出口，所述液环真空泵的另一端固定安装有NaOH液体入口。

优选的，所述第二气动球阀与液环真空泵之间固定安装有第二压力变送器。

优选的，所述出气口出气量受到电动控制波纹管阀的控制。

优选的，所述反应腔体内的压力受到电动控制波纹管阀控制。

有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种用于CVD涂层设备的反应腔体内压力动态平衡控制系统，具备以下有益效果：

1、该用于CVD涂层设备的反应腔体内压力动态平衡控制系统，参与反应的各种气体经由进气口进入反应腔体内，在被加热到特定温度的反应腔体内发生化学反应，所产生的反应物沉积到反应腔体内的工件上形成薄膜，反应生成的副产物及未全部反应完的气体在液环真空的抽吸作用下经由排气口排出反应腔体，再经过冷凝阱进行冷凝，未被冷凝的气体和反应副产物经过第一气动球阀，电动控制波纹管阀和第二气动球阀，进入液环真空泵内被抽走进入尾气中和系统内。